
[high vacuum] 指壓力在1×10 -3 到1×15 -6 毫米汞柱範圍内的真空
高真空是物理學與工程學領域的重要概念,指氣體壓力顯著低于标準大氣壓(101325帕斯卡)的特殊氣體狀态。根據《現代漢語詞典》第7版,高真空特指“壓強在10⁻¹到10⁻⁶帕之間的真空環境”,其氣體分子平均自由程遠大于容器尺寸,分子間碰撞概率極低。這一特性使其在半導體制造、航天器模拟實驗中具有關鍵作用。
從技術标準看,國際真空科學與技術協會(IUVSTA)将10⁻³至10⁻⁷帕的區間定義為高真空,此狀态下殘餘氣體分子數密度約為每立方厘米10¹⁰到10⁵個。在應用層面,高真空環境能有效避免氧化反應,保障精密儀器的鍍膜工藝質量,例如電子顯微鏡鏡筒、粒子加速器等設備均依賴此類環境。
高真空是真空技術中的一個重要等級,其定義和壓力範圍在不同标準中略有差異,但核心特征為氣體分子極其稀薄。以下是綜合解釋:
1. 基本定義 高真空指壓力範圍在$10^{-3}$至$10^{-6}$帕斯卡(Pa)的真空狀态。部分标準将上限擴展至$1.333 times 10^{-1}$ Pa,下限延伸至$1.333 times 10^{-6}$ Pa。
2. 單位換算 常用單位包括:
3. 技術特點
4. 應用領域
補充說明:真空等級劃分存在不同标準,例如工程領域可能将$10^{-3}$至$10^{-8}$ Torr統稱為高真空,具體應用時需參考行業規範。
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