
【化】 fore vacuum pump
former; forward; front; preceding; priority
【醫】 a.; ante-; antero-; fore-; pro-; proso-; ventri-; ventro-
class; grade; level; o-level; rank; stage; step
【醫】 grade
【化】 pick-up pump; vacuum pump
【醫】 vacuum pump
前級真空泵(Foreline Vacuum Pump)是真空系統中用于建立初級真空環境的設備,其英文術語由"foreline"(前級管線)和"vacuum pump"(真空泵)構成。該設備通過機械方式将腔體内的氣壓從大氣壓降至1×10-3至1×10-2 mbar範圍,為高真空泵(如渦輪分子泵)創造必要的工作條件。
根據國際真空科學技術協會(IVSTA)技術标準,前級真空泵主要分為旋片式(Rotary Vane)和幹式螺杆(Dry Screw)兩種類型。旋片式泵通過偏心轉子和滑動葉片實現氣體壓縮,適用于實驗室場景;幹式螺杆泵采用無油齧合螺杆設計,滿足半導體制造等潔淨度要求高的工業應用。
典型技術參數包括:
在真空鍍膜系統中,前級泵需與擴散泵配合使用,其抽氣效率直接影響鍍膜均勻性。美國真空協會(AVS)建議每500小時需更換潤滑油并檢測排氣閥密封性,以維持$ eta = frac{P{實際}}{P{理論}} geq 0.85 $的能效比。
前級真空泵是真空系統中用于為主泵(如羅茨泵、擴散泵等)創造初始真空條件或維持其前級壓強的關鍵設備。以下是綜合解釋:
前級真空泵指能夠将氣體從低壓區域輸送至大氣壓的裝置,其核心功能是維持主泵前級壓強低于臨界值(通常為10-100 Pa),确保主泵高效運行。例如羅茨泵需配合旋片泵或滑閥泵作為前級泵使用。
類型 | 特點 | 適用場景 |
---|---|---|
幹式泵 | 無油污染(如螺杆泵、渦旋泵) | 潔淨環境 |
油封泵 | 高極限真空(如旋片泵) | 常規工業 |
水環泵 | 耐腐蝕、可處理蒸氣 | 化工/潮濕環境 |
需注意,前級泵選型需匹配主泵的抽速和壓縮比要求。更多技術參數可參考真空行業協會标準(如AVS規範)。
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