
【化】 fore vacuum pump
former; forward; front; preceding; priority
【医】 a.; ante-; antero-; fore-; pro-; proso-; ventri-; ventro-
class; grade; level; o-level; rank; stage; step
【医】 grade
【化】 pick-up pump; vacuum pump
【医】 vacuum pump
前级真空泵(Foreline Vacuum Pump)是真空系统中用于建立初级真空环境的设备,其英文术语由"foreline"(前级管线)和"vacuum pump"(真空泵)构成。该设备通过机械方式将腔体内的气压从大气压降至1×10-3至1×10-2 mbar范围,为高真空泵(如涡轮分子泵)创造必要的工作条件。
根据国际真空科学技术协会(IVSTA)技术标准,前级真空泵主要分为旋片式(Rotary Vane)和干式螺杆(Dry Screw)两种类型。旋片式泵通过偏心转子和滑动叶片实现气体压缩,适用于实验室场景;干式螺杆泵采用无油啮合螺杆设计,满足半导体制造等洁净度要求高的工业应用。
典型技术参数包括:
在真空镀膜系统中,前级泵需与扩散泵配合使用,其抽气效率直接影响镀膜均匀性。美国真空协会(AVS)建议每500小时需更换润滑油并检测排气阀密封性,以维持$ eta = frac{P{实际}}{P{理论}} geq 0.85 $的能效比。
前级真空泵是真空系统中用于为主泵(如罗茨泵、扩散泵等)创造初始真空条件或维持其前级压强的关键设备。以下是综合解释:
前级真空泵指能够将气体从低压区域输送至大气压的装置,其核心功能是维持主泵前级压强低于临界值(通常为10-100 Pa),确保主泵高效运行。例如罗茨泵需配合旋片泵或滑阀泵作为前级泵使用。
类型 | 特点 | 适用场景 |
---|---|---|
干式泵 | 无油污染(如螺杆泵、涡旋泵) | 洁净环境 |
油封泵 | 高极限真空(如旋片泵) | 常规工业 |
水环泵 | 耐腐蚀、可处理蒸气 | 化工/潮湿环境 |
需注意,前级泵选型需匹配主泵的抽速和压缩比要求。更多技术参数可参考真空行业协会标准(如AVS规范)。
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