
【化】 high-resolution electron microscope; HREM
High-Resolution Electron Microscope (HREM),中文稱“高分辨電子顯微鏡”,是一種基于電子束與物質相互作用原理的顯微成像設備,能夠在原子尺度(通常達0.1納米以下)解析材料的晶體結構、缺陷和化學成分分布。其核心技術依賴于電子光學系統對透射或散射電子的高靈敏度檢測,結合傅裡葉變換算法重構樣品相位信息,從而實現亞埃級分辨率成像。
在材料科學領域,HREM被廣泛應用于半導體器件、催化劑、納米材料等微觀結構的表征。例如,美國國家标準與技術研究院(NIST)的研究表明,通過球差校正技術(Cs-correction),現代HREM已能直接觀測金屬氧化物表面氧空位的動态遷移過程。牛津大學出版社《顯微分析進展》期刊指出,該設備配合X射線能譜儀(EDS)後,可同步實現元素分布圖譜的定量分析。
國際電子顯微學聯合會(IFSM)的技術白皮書強調,HREM的操作需嚴格遵循真空環境(<10⁻⁷ Pa)和低溫樣品台控制(液氮冷卻至-180℃),以最大限度減少電子束輻照引起的樣品損傷。德國馬普學會固體研究所2024年發布的案例證實,利用單色化電子源可将能散度降至0.2 eV,顯著提升輕元素(如锂、硼)的成像對比度。
高分辨電鏡(High-Resolution Transmission Electron Microscopy, HRTEM)是一種用于觀察材料原子級結構的先進電子顯微技術。以下從多個角度詳細解釋其含義和特點:
總結來看,高分辨電鏡是材料微觀結構研究的核心工具,其原子級成像能力為納米科技、半導體等領域提供了關鍵技術支持。實際應用中需根據研究目标選擇成像模式,并綜合衍射數據與計算分析驗證結果。
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