
【電】 electron-beam instrument
【電】 electron beam
apparatus; instrument
【化】 apparatus; instrument
【醫】 apparatus; instrument
電子射束儀器(Electron Beam Instruments)是一類基于電子束與物質相互作用原理的高精度分析及加工設備,其核心功能包括材料表征、微納加工和表面成像等。該術語在《英漢電子技術詞典》(第三版)中被定義為“利用聚焦電子束進行檢測或操控的精密裝置”。
從技術原理分析,電子射束儀器主要通過電子槍産生高能電子束,經電磁透鏡系統聚焦後,通過掃描樣品表面産生二次電子、背散射電子等信號,進而實現納米級分辨率成像(分辨率可達0.1nm)。中國科學院物理研究所的實驗數據顯示,這類儀器的工作電壓通常在1kV-30kV範圍内可調。
主要應用領域涵蓋:
根據ISO 16700:2016國際标準,電子射束儀器的性能參數需滿足真空度≤10⁻³Pa、束斑直徑≤5nm等關鍵技術指标。美國材料試驗協會(ASTM)E986-04規範詳細規定了這類儀器的校準方法和操作規範。
“電子射束儀器”可能涉及兩種不同領域的設備,需結合具體語境區分:
主要用于科研或工業場景,通過控制電子束進行實驗觀測,例如示波器、電子顯微鏡等。其核心原理包括:
屬于輔助生殖技術設備,通過電刺激采集精液:
若需進一步了解某類設備的具體技術參數或應用案例,可參考上述來源中的實驗說明或醫學操作指南。
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