
【电】 electron-beam instrument
【电】 electron beam
apparatus; instrument
【化】 apparatus; instrument
【医】 apparatus; instrument
电子射束仪器(Electron Beam Instruments)是一类基于电子束与物质相互作用原理的高精度分析及加工设备,其核心功能包括材料表征、微纳加工和表面成像等。该术语在《英汉电子技术词典》(第三版)中被定义为“利用聚焦电子束进行检测或操控的精密装置”。
从技术原理分析,电子射束仪器主要通过电子枪产生高能电子束,经电磁透镜系统聚焦后,通过扫描样品表面产生二次电子、背散射电子等信号,进而实现纳米级分辨率成像(分辨率可达0.1nm)。中国科学院物理研究所的实验数据显示,这类仪器的工作电压通常在1kV-30kV范围内可调。
主要应用领域涵盖:
根据ISO 16700:2016国际标准,电子射束仪器的性能参数需满足真空度≤10⁻³Pa、束斑直径≤5nm等关键技术指标。美国材料试验协会(ASTM)E986-04规范详细规定了这类仪器的校准方法和操作规范。
“电子射束仪器”可能涉及两种不同领域的设备,需结合具体语境区分:
主要用于科研或工业场景,通过控制电子束进行实验观测,例如示波器、电子显微镜等。其核心原理包括:
属于辅助生殖技术设备,通过电刺激采集精液:
若需进一步了解某类设备的具体技术参数或应用案例,可参考上述来源中的实验说明或医学操作指南。
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