
【計】 silicon gate
silicon
【醫】 Si; silicium; silicon
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矽栅(Silicon Gate)是半導體器件制造中的關鍵結構,指通過沉積、刻蝕等工藝在矽基闆上形成的導電栅極層。該技術廣泛應用于金屬-氧化物-半導體場效應晶體管(MOSFET)中,用于控制源極和漏極之間的電流導通狀态。
從材料特性分析,矽栅采用多晶矽(Polycrystalline Silicon)作為栅極材料,相較于傳統金屬栅極,其優勢包括:
在集成電路發展史上,矽栅技術推動器件尺寸微縮,使摩爾定律得以延續。美國電氣電子工程師協會(IEEE)數據顯示,采用矽栅工藝的芯片集成度比鋁栅工藝提升3倍以上。當前該技術已延伸至FinFET等三維結構器件制造中。
參考來源:
矽栅是金屬-氧化物-半導體(MOS)集成電路中的關鍵結構,指以摻雜多晶矽作為栅電極的技術。以下是其詳細解釋及相關特點:
矽栅由摻雜多晶矽材料構成,替代傳統鋁栅工藝中的金屬鋁。它形成于矽襯底上的二氧化矽(SiO₂)絕緣層表面,作為MOS晶體管的控制電極,通過電壓調控源漏極間的電流。
矽栅技術自20世紀60年代逐步取代鋁栅,成為大規模集成電路的主流工藝,尤其在需要高集成度和高頻性能的芯片(如CPU、存儲器)中廣泛應用。
如需更深入的技術細節,可參考知網等學術文獻(來源1、3、4)。
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