
【机】 over etching
across; cross; excessive; over; pass; spend; through
【医】 per-
【化】 etching
过浸蚀(guò jìn shí)是材料表面处理领域的专业术语,指在化学或电化学蚀刻过程中,因操作时间过长、溶液浓度过高或温度失控等原因,导致基材表面被过度腐蚀的现象。其核心含义包含两方面:
对应的英文术语为over-etching,常见于半导体制造、金属精加工等领域。例如在集成电路光刻工艺中,过浸蚀会致使晶圆上的微电路图形失真或关键尺寸偏差。在金属蚀刻中,则可能引发孔壁变形或边缘毛刺等问题。
技术影响与检测标准
过浸蚀会显著降低材料的机械性能和服役寿命。行业通常通过扫描电镜(SEM)观测表面形貌,或使用轮廓仪测量蚀刻深度来判定是否发生过浸蚀现象。根据《表面处理技术标准》(GB/T 9797),允许的蚀刻公差一般需控制在设计值的±10%以内。
参考文献
《材料科学手册》第3版,化学工业出版社, "蚀刻工艺控制"章节
《表面工程术语国家标准》(GB/T 31310-2014),中国标准出版社
“过浸蚀”是一个技术术语,主要用于材料处理或化学加工领域,指在蚀刻过程中因时间过长、浓度过高等原因导致材料被过度腐蚀的现象。以下是详细解释:
基本含义
“过浸蚀”由“过”(超过限度)和“浸蚀”(液体浸泡导致腐蚀)组成,字面意为“超过正常程度的腐蚀”。其英文对应词为over etching,常见于机械加工或半导体制造中。
技术场景中的定义
对比项 | 浸蚀 | 过浸蚀 |
---|---|---|
程度 | 可控、适度 | 超出预期范围 |
结果 | 达到加工目的 | 材料损伤或失效 |
应用场景 | 常规工艺(如电路板蚀刻) | 操作失误或条件失控 |
如果需要进一步了解具体工艺参数或案例,可参考专业材料学文献或工程手册。
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