
【機】 over etching
across; cross; excessive; over; pass; spend; through
【醫】 per-
【化】 etching
過浸蝕(guò jìn shí)是材料表面處理領域的專業術語,指在化學或電化學蝕刻過程中,因操作時間過長、溶液濃度過高或溫度失控等原因,導緻基材表面被過度腐蝕的現象。其核心含義包含兩方面:
對應的英文術語為over-etching,常見于半導體制造、金屬精加工等領域。例如在集成電路光刻工藝中,過浸蝕會緻使晶圓上的微電路圖形失真或關鍵尺寸偏差。在金屬蝕刻中,則可能引發孔壁變形或邊緣毛刺等問題。
技術影響與檢測标準
過浸蝕會顯著降低材料的機械性能和服役壽命。行業通常通過掃描電鏡(SEM)觀測表面形貌,或使用輪廓儀測量蝕刻深度來判定是否發生過浸蝕現象。根據《表面處理技術标準》(GB/T 9797),允許的蝕刻公差一般需控制在設計值的±10%以内。
參考文獻
《材料科學手冊》第3版,化學工業出版社, "蝕刻工藝控制"章節
《表面工程術語國家标準》(GB/T 31310-2014),中國标準出版社
“過浸蝕”是一個技術術語,主要用于材料處理或化學加工領域,指在蝕刻過程中因時間過長、濃度過高等原因導緻材料被過度腐蝕的現象。以下是詳細解釋:
基本含義
“過浸蝕”由“過”(超過限度)和“浸蝕”(液體浸泡導緻腐蝕)組成,字面意為“超過正常程度的腐蝕”。其英文對應詞為over etching,常見于機械加工或半導體制造中。
技術場景中的定義
對比項 | 浸蝕 | 過浸蝕 |
---|---|---|
程度 | 可控、適度 | 超出預期範圍 |
結果 | 達到加工目的 | 材料損傷或失效 |
應用場景 | 常規工藝(如電路闆蝕刻) | 操作失誤或條件失控 |
如果需要進一步了解具體工藝參數或案例,可參考專業材料學文獻或工程手冊。
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