
【計】 thin-film microcircuit
film; membrane; pellicle
【計】 thin membrane; thin-film
【醫】 film
microcircuit
【計】 microcircuit
薄膜微電路(Thin Film Microcircuit)是一種在絕緣基闆上通過真空沉積、濺射等工藝形成納米至微米級金屬或介質薄膜,并光刻成型互連結構的微型電路。其核心在于利用薄膜技術實現高精度、高頻響應的電子元件集成,主要特點如下:
指厚度在0.1-1微米範圍内的材料層,通過物理氣相沉積(PVD)或化學氣相沉積(CVD)形成,區别于厚膜技術的絲網印刷工藝。
包含薄膜電阻(如氮化钽)、電容(二氧化矽介質)及導體(金/鋁互連線),直接在陶瓷或玻璃基闆上集成,無需封裝。
薄膜的精細線條(線寬可達10μm)降低寄生電容,適用于5G通信毫米波器件和雷達系統。
電阻溫度系數(TCR)低于±50 ppm/℃,用于高精度傳感器和醫療儀器(如MRI射頻線圈)。
制造工藝遵循國際規範:
(來源:IEEE Xplore數字圖書館、IPC協會技術手冊)
典型應用案例:衛星通信系統的低噪聲放大器(LNA)采用薄膜微電路,實現噪聲系數<1 dB的超高頻信號處理。
薄膜微電路是集成電路的一種形式,其核心是通過在非導電基闆表面沉積超薄薄膜材料(厚度通常在1微米以下)形成的微型電路系統。以下從結構、工藝、特點等方面分點解釋:
薄膜微電路由晶體管、二極管、電阻、電容、電感等元件及其互連引線構成,所有元件均采用真空蒸發、濺射或電鍍等工藝制成。其名稱中的“薄膜”指元件的材料厚度極薄(微米級),“微電路”則強調微型化集成特性。
需注意,薄膜微電路與“厚膜電路”的主要區别在于材料和工藝:前者使用真空沉積的納米/微米級薄膜,後者則通過絲網印刷厚膜漿料實現,通常元件尺寸更大。
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