
【计】 thin-film microcircuit
film; membrane; pellicle
【计】 thin membrane; thin-film
【医】 film
microcircuit
【计】 microcircuit
薄膜微电路(Thin Film Microcircuit)是一种在绝缘基板上通过真空沉积、溅射等工艺形成纳米至微米级金属或介质薄膜,并光刻成型互连结构的微型电路。其核心在于利用薄膜技术实现高精度、高频响应的电子元件集成,主要特点如下:
指厚度在0.1-1微米范围内的材料层,通过物理气相沉积(PVD)或化学气相沉积(CVD)形成,区别于厚膜技术的丝网印刷工艺。
包含薄膜电阻(如氮化钽)、电容(二氧化硅介质)及导体(金/铝互连线),直接在陶瓷或玻璃基板上集成,无需封装。
薄膜的精细线条(线宽可达10μm)降低寄生电容,适用于5G通信毫米波器件和雷达系统。
电阻温度系数(TCR)低于±50 ppm/℃,用于高精度传感器和医疗仪器(如MRI射频线圈)。
制造工艺遵循国际规范:
(来源:IEEE Xplore数字图书馆、IPC协会技术手册)
典型应用案例:卫星通信系统的低噪声放大器(LNA)采用薄膜微电路,实现噪声系数<1 dB的超高频信号处理。
薄膜微电路是集成电路的一种形式,其核心是通过在非导电基板表面沉积超薄薄膜材料(厚度通常在1微米以下)形成的微型电路系统。以下从结构、工艺、特点等方面分点解释:
薄膜微电路由晶体管、二极管、电阻、电容、电感等元件及其互连引线构成,所有元件均采用真空蒸发、溅射或电镀等工艺制成。其名称中的“薄膜”指元件的材料厚度极薄(微米级),“微电路”则强调微型化集成特性。
需注意,薄膜微电路与“厚膜电路”的主要区别在于材料和工艺:前者使用真空沉积的纳米/微米级薄膜,后者则通过丝网印刷厚膜浆料实现,通常元件尺寸更大。
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