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薄膜積分電路英文解釋翻譯、薄膜積分電路的近義詞、反義詞、例句

英語翻譯:

【電】 film integrated circuit; thin-film integrated circuit

分詞翻譯:

薄膜的英語翻譯:

film; membrane; pellicle
【計】 thin membrane; thin-film
【醫】 film

積分電路的英語翻譯:

【計】 intergrator

專業解析

薄膜積分電路(Thin-Film Integrated Circuit)是微電子技術中的核心組件,指通過真空蒸發、濺射等工藝在絕緣基闆上沉積微米級薄膜(通常厚度小于1微米)形成的電路系統。其術語構成與特性如下:


一、術語解析(漢英對照)

  1. 薄膜(Thin Film)

    指通過物理/化學氣相沉積形成的納米至微米級材料層,區别于厚膜技術的絲網印刷工藝。薄膜材料包括:

    • 導體:鋁(Al)、金(Au)
    • 電阻:氮化钽(TaN)、鉻矽化合物(Cr-Si)
    • 介質:二氧化矽(SiO₂)、氮化矽(Si₃N₄)

      來源:《微電子制造科學》(Microelectronic Fabrication, S.M. Sze)

  2. 積分電路(Integrated Circuit)

    "積分"源于對電路功能的集成化(Integration),即通過半導體工藝将晶體管、電阻、電容等元件集成于單一基闆。薄膜工藝尤其適用于高精度無源元件集成。

    來源:IEEE電子器件協會技術報告(IEEE EDS Technical Report)


二、技術特征與優勢

  1. 高頻性能優越

    薄膜導體的趨膚效應低,且介質損耗小(如SiO₂損耗角正切值<0.001),適用于微波毫米波電路。

  2. 精度與穩定性

    薄膜電阻公差可達±0.01%,溫度系數(TCR)低于±5 ppm/℃,優于厚膜技術10倍以上。

  3. 微型化能力

    光刻工藝可實現線寬≤5μm的互連結構,集成密度達200元件/cm²。


三、典型應用場景

  1. 高頻模塊

    雷達系統功率分配器(如薄膜 Wilkinson 功分器)、毫米波濾波器。

  2. 高精度傳感器

    醫用pH傳感器電極電路、航天器溫度補償網絡。

  3. 量子計算基礎組件

    超導薄膜諧振器(NbN/Si基)用于量子比特控制。


四、與厚膜電路的關鍵差異

參數 薄膜電路 厚膜電路
工藝方法 真空沉積+光刻 絲網印刷+燒結
線寬精度 ≤5μm ≥50μm
電阻TCR ±1~5 ppm/℃ ±50~200 ppm/℃
成本 高(需潔淨室)

數據來源:《混合微電子技術手冊》(Handbook of Hybrid Microelectronics, R.W. Johnson)


權威參考文獻

  1. 薄膜沉積技術

    Thin Film Processes - Academic Press(需機構訪問權限)

  2. 高頻電路設計

    IEEE Transactions on Microwave Theory and Techniques

  3. 材料特性數據庫

    NIST Thin Film Material Database(美國國家标準與技術研究院)

網絡擴展解釋

薄膜積分電路是結合薄膜技術與積分電路功能的一種電子元件,其核心特點在于制造工藝和性能優化。以下是詳細解釋:

1.積分電路的基本原理

積分電路是一種模拟信號運算電路,基于電容的充放電特性實現功能。主要作用包括:

2.薄膜技術的特性

薄膜電路通過真空沉積或濺射工藝在基闆(如陶瓷、玻璃)上形成納米至微米級厚度的導電/絕緣層,優勢包括:

3.薄膜積分電路的應用場景

結合兩者優勢,薄膜積分電路常用于:

補充說明

雖然網頁未直接提及“薄膜積分電路”,但根據技術背景,其本質是傳統積分電路的工藝升級版本,通過薄膜技術提升性能和可靠性。實際設計中可能涉及薄膜電阻、電容的集成,以及多層布線優化信號路徑。

分類

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