薄膜积分电路英文解释翻译、薄膜积分电路的近义词、反义词、例句

英语翻译：

【电】 film integrated circuit; thin-film integrated circuit

分词翻译：

薄膜的英语翻译：

film; membrane; pellicle
【计】 thin membrane; thin-film
【医】 film

积分电路的英语翻译：

【计】 intergrator

专业解析

薄膜积分电路（Thin-Film Integrated Circuit）是微电子技术中的核心组件，指通过真空蒸发、溅射等工艺在绝缘基板上沉积微米级薄膜（通常厚度小于1微米）形成的电路系统。其术语构成与特性如下：

一、术语解析（汉英对照）

薄膜（Thin Film）
指通过物理/化学气相沉积形成的纳米至微米级材料层，区别于厚膜技术的丝网印刷工艺。薄膜材料包括：
- 导体：铝（Al）、金（Au）
- 电阻：氮化钽（TaN）、铬硅化合物（Cr-Si）
- 介质：二氧化硅（SiO₂）、氮化硅（Si₃N₄）
  来源：《微电子制造科学》（Microelectronic Fabrication, S.M. Sze）
积分电路（Integrated Circuit）
"积分"源于对电路功能的集成化（Integration），即通过半导体工艺将晶体管、电阻、电容等元件集成于单一基板。薄膜工艺尤其适用于高精度无源元件集成。

来源：IEEE电子器件协会技术报告（IEEE EDS Technical Report）

二、技术特征与优势

高频性能优越
薄膜导体的趋肤效应低，且介质损耗小（如SiO₂损耗角正切值<0.001），适用于微波毫米波电路。

精度与稳定性
薄膜电阻公差可达±0.01%，温度系数（TCR）低于±5 ppm/℃，优于厚膜技术10倍以上。

微型化能力
光刻工艺可实现线宽≤5μm的互连结构，集成密度达200元件/cm²。

三、典型应用场景

高频模块
雷达系统功率分配器（如薄膜 Wilkinson 功分器）、毫米波滤波器。

高精度传感器
医用pH传感器电极电路、航天器温度补偿网络。

量子计算基础组件
超导薄膜谐振器（NbN/Si基）用于量子比特控制。

四、与厚膜电路的关键差异

参数	薄膜电路	厚膜电路
工艺方法	真空沉积+光刻	丝网印刷+烧结
线宽精度	≤5μm	≥50μm
电阻TCR	±1~5 ppm/℃	±50~200 ppm/℃
成本	高（需洁净室）	低

数据来源：《混合微电子技术手册》（Handbook of Hybrid Microelectronics, R.W. Johnson）

权威参考文献

薄膜沉积技术
Thin Film Processes - Academic Press（需机构访问权限）

高频电路设计
IEEE Transactions on Microwave Theory and Techniques

材料特性数据库
NIST Thin Film Material Database（美国国家标准与技术研究院）

网络扩展解释

薄膜积分电路是结合薄膜技术与积分电路功能的一种电子元件，其核心特点在于制造工艺和性能优化。以下是详细解释：

1.积分电路的基本原理

积分电路是一种模拟信号运算电路，基于电容的充放电特性实现功能。主要作用包括：

波形转换：将输入方波转换为三角波或斜波；
延时与定时：利用充放电时间常数控制信号延迟；
消除失调电压：在放大电路中补偿直流偏移；
微分方程模拟：作为模拟计算机的基本单元。

2.薄膜技术的特性

薄膜电路通过真空沉积或溅射工艺在基板（如陶瓷、玻璃）上形成纳米至微米级厚度的导电/绝缘层，优势包括：

高精度：元件参数（如电阻、电容）控制更精确；
微型化：适合高频、高密度集成场景；
稳定性：耐高温、抗老化，适用于恶劣环境。

3.薄膜积分电路的应用场景

结合两者优势，薄膜积分电路常用于：

高频信号处理：如通信设备中的滤波或调制；
精密仪器：医疗设备、航空航天传感器中的信号积分；
微型化系统：便携式设备或物联网节点中的低功耗运算。

补充说明

虽然网页未直接提及“薄膜积分电路”，但根据技术背景，其本质是传统积分电路的工艺升级版本，通过薄膜技术提升性能和可靠性。实际设计中可能涉及薄膜电阻、电容的集成，以及多层布线优化信号路径。