
【化】 membrane resistance
film; membrane; theca; velamen; velum
【化】 membrane
【醫】 coat; envelope; film; lemma; membranae membranae; membranae membrane
panniculus; theca; thecae; tunic; tunica; velamen; velamenta
velamentum
resistance
【計】 ohmic resistance; R
【化】 resistance
【醫】 resistance
膜電阻(Membrane Resistance)是電子工程和材料科學中的重要概念,特指電流通過薄膜材料時受到的阻礙作用。以下是其詳細解釋:
膜電阻(單位:Ω)指均勻薄膜對直流電流的阻礙能力,計算公式為:
$$ R = rho frac{L}{A} $$
其中 $rho$ 為薄膜電阻率,$L$ 為電流路徑長度,$A$ 為薄膜橫截面積。該定義源于半導體器件物理基礎理論。
厚度依賴性
薄膜電阻與厚度成反比,納米級薄膜因量子限域效應會出現電阻異常升高現象(參考《薄膜科學與技術》期刊。
表面效應主導
當薄膜厚度<100nm時,表面散射成為主要電阻機制,導緻電阻率高于塊體材料(見美國物理聯合會應用物理快報。
應用場景 | 典型材料 | 電阻範圍 |
---|---|---|
集成電路互連線 | 銅/鋁薄膜 | 0.1-10 Ω/□ |
透明導電膜 | ITO/石墨烯 | 10-1000 Ω/□ |
燃料電池電解質 | 氧化锆薄膜 | 1-100 kΩ·cm |
根據IEEE 标準 1187-2019,薄膜電阻測試需采用四探針法消除接觸電阻影響,測試環境需控制溫濕度(23±1℃, RH45±5%)。
權威參考文獻:
- 《半導體物理與器件》Neamen著 第4版
- Springer《Thin Film Materials》Chapter 5
- NIST材料數據庫薄膜電學特性數據集(鍊接需訪問官網檢索)
“膜電阻”這一術語在不同領域有不同含義,主要分為生物醫學和電子元件兩類:
指生物膜對離子電流的阻礙作用,與細胞膜功能密切相關:
指通過薄膜工藝制造的電阻器件,常見兩類:
兩類電子膜電阻均通過控制薄膜幾何尺寸(長/寬/厚)調節阻值,廣泛應用于電路設計、自動化控制等領域。
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