
【化】 membrane resistance
film; membrane; theca; velamen; velum
【化】 membrane
【医】 coat; envelope; film; lemma; membranae membranae; membranae membrane
panniculus; theca; thecae; tunic; tunica; velamen; velamenta
velamentum
resistance
【计】 ohmic resistance; R
【化】 resistance
【医】 resistance
膜电阻(Membrane Resistance)是电子工程和材料科学中的重要概念,特指电流通过薄膜材料时受到的阻碍作用。以下是其详细解释:
膜电阻(单位:Ω)指均匀薄膜对直流电流的阻碍能力,计算公式为:
$$ R = rho frac{L}{A} $$
其中 $rho$ 为薄膜电阻率,$L$ 为电流路径长度,$A$ 为薄膜横截面积。该定义源于半导体器件物理基础理论。
厚度依赖性
薄膜电阻与厚度成反比,纳米级薄膜因量子限域效应会出现电阻异常升高现象(参考《薄膜科学与技术》期刊。
表面效应主导
当薄膜厚度<100nm时,表面散射成为主要电阻机制,导致电阻率高于块体材料(见美国物理联合会应用物理快报。
应用场景 | 典型材料 | 电阻范围 |
---|---|---|
集成电路互连线 | 铜/铝薄膜 | 0.1-10 Ω/□ |
透明导电膜 | ITO/石墨烯 | 10-1000 Ω/□ |
燃料电池电解质 | 氧化锆薄膜 | 1-100 kΩ·cm |
根据IEEE 标准 1187-2019,薄膜电阻测试需采用四探针法消除接触电阻影响,测试环境需控制温湿度(23±1℃, RH45±5%)。
权威参考文献:
- 《半导体物理与器件》Neamen著 第4版
- Springer《Thin Film Materials》Chapter 5
- NIST材料数据库薄膜电学特性数据集(链接需访问官网检索)
“膜电阻”这一术语在不同领域有不同含义,主要分为生物医学和电子元件两类:
指生物膜对离子电流的阻碍作用,与细胞膜功能密切相关:
指通过薄膜工艺制造的电阻器件,常见两类:
两类电子膜电阻均通过控制薄膜几何尺寸(长/宽/厚)调节阻值,广泛应用于电路设计、自动化控制等领域。
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