掃描電子顯微鏡英文解釋翻譯、掃描電子顯微鏡的近義詞、反義詞、例句
英語翻譯:
【化】 scanning electron microscope(SEM)
分詞翻譯:
掃描的英語翻譯:
scan; scanning
【計】 fineness; scanning
【醫】 scanning
電子顯微鏡的英語翻譯:
【化】 electron microscope
【醫】 electron microscope
專業解析
掃描電子顯微鏡(Scanning Electron Microscope, SEM)是一種利用聚焦的高能電子束掃描樣品表面,通過檢測相互作用産生的信號來獲取樣品表面形貌、成分和結構信息的高分辨率顯微成像儀器。其核心原理在于電子束與樣品表面的相互作用,主要工作流程包括電子槍發射電子、電磁透鏡聚焦電子束、掃描線圈控制束斑在樣品表面逐點掃描,以及探測器接收二次電子、背散射電子等信號并轉換為圖像。
核心組件與工作原理
-
電子光學系統
- 電子槍(Electron Gun):發射高能電子束,常用鎢燈絲或場發射源(Field Emission Gun, FEG),後者可提供更高亮度和分辨率。
- 電磁透鏡(Electromagnetic Lenses):多級透鏡将電子束聚焦至納米級束斑,如物鏡将束斑縮小至1-10 nm,實現高空間分辨率成像。
-
信號檢測系統
- 二次電子探測器(SE Detector):捕獲樣品表層激發的低能二次電子(Secondary Electrons, SE),反映表面形貌特征,分辨率可達1 nm以下。
- 背散射電子探測器(BSE Detector):接收高能背散射電子(Backscattered Electrons),其産率與樣品原子序數相關,用于成分襯度分析。
-
真空與樣品室
- 高真空環境(10⁻³–10⁻⁶ Pa)避免電子束與氣體分子碰撞,确保成像穩定性。樣品室需兼容多種樣品台,支持傾斜、旋轉及能譜分析附件。
應用領域與技術優勢
- 材料科學:觀察金屬斷口、陶瓷顯微結構及納米材料形貌,分辨率顯著優于光學顯微鏡(如100,000倍放大下分辨率達0.4 nm)。
- 生命科學:通過臨界點幹燥或冷凍制樣技術,實現生物組織超微結構的三維成像。
- 成分分析:結合能譜儀(EDS)或波譜儀(WDS),進行微區元素定性與定量分析(檢測限0.1 wt%)。
權威定義參考
- 中國科學院物理研究所:SEM通過“逐點掃描”方式成像,其景深可達光學顯微鏡的300倍,適用于粗糙表面三維形貌重建(來源:中國科學院物理研究所《電子顯微鏡技術綜述》)。
- 牛津儀器公司:場發射掃描電鏡(FE-SEM)的束流穩定性優于0.2%/小時,支持長時間高分辨率成像(來源:牛津儀器《SEM技術白皮書》)。
漢英術語對照
- 掃描線圈(Scanning Coils)
- 二次電子像(Secondary Electron Image, SEI)
- 背散射電子衍射(Electron Backscatter Diffraction, EBSD)
- 能譜分析(Energy Dispersive X-ray Spectroscopy, EDS)
來源整合:
- 中國科學院物理研究所《電子顯微鏡技術綜述》
- 牛津儀器《SEM技術白皮書》
- 清華大學材料學院《電子顯微學基礎》
- Springer Handbook《Scanning Electron Microscopy and X-ray Microanalysis》
網絡擴展解釋
掃描電子顯微鏡(SEM)是一種利用高能電子束掃描樣品表面,通過探測電子與樣品相互作用産生的信號來獲取高分辨率圖像的顯微技術。以下是其核心信息的綜合解析:
定義與基本原理
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定義
掃描電子顯微鏡(SEM)通過聚焦的電子束逐點掃描樣品表面,收集二次電子、背散射電子等信號,形成微觀形貌圖像,分辨率可達納米級(0.2 nm以上)。
-
成像原理
- 電子槍發射高能電子束,經電磁透鏡聚焦後掃描樣品表面。
- 電子與樣品相互作用産生多種信號(如二次電子、X射線),探測器接收信號并轉換為電信號,最終形成圖像。
- 通過逐點掃描和信號同步處理,實現高分辨率、大景深的立體成像。
核心結構與分類
-
主要結構
- 電子光學系統:包括電子槍、聚光鏡和物鏡,用于生成和聚焦電子束。
- 掃描系統:控制電子束在樣品表面逐行掃描。
- 信號檢測系統:探測二次電子、背散射電子等信號。
- 真空系統:确保電子束不受氣體分子幹擾。
-
分類
根據電子槍類型分為:
- 場發射掃描電鏡:分辨率最高,適用于納米技術領域,但成本高。
- 鎢絲掃描電鏡:成本較低,適合常規分析。
- 六硼化镧掃描電鏡:性能介于前兩者之間。
優勢與應用
-
優勢
- 高分辨率:遠超光學顯微鏡(1000倍以上)。
- 大景深:成像立體感強,適合凹凸不平的樣品。
- 多功能性:結合X射線能譜儀(EDS)可同步分析元素成分。
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應用領域
- 材料科學:觀察材料微觀結構、表面缺陷。
- 生物醫學:分析細胞、蛋白質等生物樣本形貌。
- 工業制造:檢測半導體器件、能源材料性能。
補充說明
掃描電鏡與透射電鏡(TEM)的主要區别在于:SEM觀測樣品表面形貌,而TEM需制備超薄樣品以觀察内部結構。更多技術細節可參考權威文獻或儀器手冊。
分類
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