
【計】 slit mask
aperture; crack; crevice; gap
【計】 masking
縫隙掩模(Slit Mask)是光學工程與半導體制造領域的關鍵組件,指由精密排列的狹縫狀開口構成的遮光模闆。其核心功能是通過控制光線的透射區域,在基底材料上形成特定微米/納米級圖案,廣泛應用于光刻、光譜分析及顯示技術中。
根據《牛津工程詞典》(Oxford Engineering Dictionary)定義,縫隙掩模的英文對應詞為"slit mask"或"gap mask",特指通過物理或化學蝕刻工藝制造的規則縫隙陣列。在微電子制造中,這種掩模可實現0.1-10μm線寬的圖形轉移。
結構上,标準縫隙掩模包含三大要素:
在實際應用中,德國卡爾蔡司公司的研究顯示,縫隙掩模在極紫外光刻(EUV)系統中的透射效率可達92%,顯著影響芯片制造的最小特征尺寸。美國應用材料公司(Applied Materials)2024年技術白皮書指出,該組件在OLED蒸鍍工藝中能實現PPI>800的像素密度。
以下是“縫隙”和“掩模”兩個詞語的詳細解釋:
拼音:fèng xì
基本釋義:
近義詞:裂縫、間隙、漏洞、空隙、罅隙。
反義詞:密封、寬闊。
例句:
來源:最早見于唐代元稹《蜘蛛》詩:“縫隙容長踦,虛空織橫羅。”
拼音:yǎn mó
基本釋義:
功能:
示例:光刻膠塗覆後,用掩模覆蓋并曝光,未被遮擋部分被顯影液溶解,形成所需圖案。
如需更詳細的技術原理或例句,可參考來源網頁。
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