電子探針微區分析英文解釋翻譯、電子探針微區分析的近義詞、反義詞、例句
英語翻譯:
【化】 electron probe micro-analysis
分詞翻譯:
電子探針的英語翻譯:
【化】 electron probe
微的英語翻譯:
decline; profound; tiny
【計】 mic-; micro-
【醫】 micr-; micro-; mikro-; mu
區的英語翻譯:
area; borough; classify; distinguish; district; region; section
【計】 region
【醫】 area; belt; field; quarter; regio; region; zona; zone
分析的英語翻譯:
analyze; construe; analysis; assay
【計】 parser
【化】 analysis; assaying
【醫】 analysis; anslyze
【經】 analyse
專業解析
電子探針微區分析(Electron Probe Microanalysis, EPMA) 是一種利用聚焦電子束轟擊樣品微小區域,通過檢測激發出的特征X射線進行元素成分定性和定量分析的高精度技術。其核心原理基于電子與物質相互作用産生的特征X射線譜,每種元素具有獨特的X射線能量或波長,借此實現對微米尺度區域(通常1微米至數微米)内元素種類與含量的測定。
核心原理與過程
- 電子束激發:高能電子束經電磁透鏡聚焦後轟擊樣品表面微小區域,使樣品原子内層電子被激發或電離。
- 特征X射線發射:受激原子退激時釋放特征X射線(能量或波長與元素種類一一對應)。
- 信號檢測:
- 波譜儀(WDS):通過晶體分光檢測特定波長X射線,精度高(檢測限達0.01%),適用于痕量元素分析。
- 能譜儀(EDS):直接測量X射線能量,分析速度快但分辨率較低。
- 定量分析:通過對比樣品與标準樣品的X射線強度,結合ZAF(原子序數-吸收-熒光效應)校正模型計算元素濃度。
技術特點
- 空間分辨率高:可分析微米級區域,適用于材料微區成分、夾雜物或相組成研究。
- 元素範圍廣:可檢測硼(B)至鈾(U)的元素,濃度範圍從100%至ppm級。
- 無損分析:通常對樣品表面損傷極小,可進行多點或面掃描分析。
典型應用領域
- 材料科學:合金相成分、半導體摻雜分析、陶瓷界面反應等。
- 地質學:礦物成因研究、包裹體成分測定。
- 失效分析:金屬腐蝕産物、焊接界面元素擴散表征。
權威參考來源
- 中國科學院上海矽酸鹽研究所《電子探針分析技術原理及應用》[來源:中國科學院上海矽酸鹽研究所]
- 美國材料與試驗協會(ASTM)标準 E1508 Standard Practice for Quantitative Analysis by Energy-Dispersive Spectroscopy [來源:ASTM International]
- Goldstein, J.I. et al. Scanning Electron Microscopy and X-Ray Microanalysis(第四版),Springer出版社,詳細闡述EPMA理論基礎與實驗方法 [來源:Springer學術專著]。
(注:由于實時數據限制,部分來源鍊接未提供,建議通過學術數據庫或機構官網檢索上述文獻。)
網絡擴展解釋
電子探針微區分析(Electron Probe Microanalysis, EPMA)是一種結合顯微結構與化學成分分析的微區檢測技術,主要用于微小區域(通常為微米至納米級别)的元素定性和定量分析。以下是其核心要點:
1.基本原理
通過聚焦的高能電子束轟擊樣品表面,激發樣品中元素的特征X射線。根據X射線的波長(波譜儀,WDS)或能量(能譜儀,EDS)判斷元素種類(定性分析),通過強度計算元素含量(定量分析)。
2.儀器組成
主要包含:
- 電子光學系統:産生和聚焦電子束(電子槍、透鏡、掃描線圈)。
- 樣品室:放置樣品并精确定位分析區域。
- X射線分光計:包括波譜儀或能譜儀,用于分離和檢測特征X射線。
- 檢測與記錄系統:處理信號并生成元素分布圖像或數據。
3.核心特點
- 高靈敏度:檢出限低至0.01%~0.05%,可分析元素周期表中硼(B)至鈾(U)的所有元素。
- 微區無損:分析體積小(約1立方微米),基本不損傷樣品表面。
- 多模态結合:可同時獲取元素分布圖(如二次電子像、背散射電子像)與成分數據。
4.應用領域
- 材料科學:研究合金、陶瓷等材料的成分偏析、相組成。
- 地質學:礦物微區成分分析及元素賦存狀态研究。
- 半導體工業:檢測芯片缺陷或雜質分布。
- 考古與生物:文物表面成分鑒定或生物組織微量元素分析。
5.技術優勢與局限
- 優勢:定量精度高(誤差±2%以内),空間分辨率達納米級。
- 局限:無法檢測氫、氦等輕元素;樣品需導電或鍍膜處理。
如需更完整的儀器參數或案例分析,可參考科學指南針及道客巴巴等來源。
分類
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