
【电】 nominal line width
mark; sign
【医】 guide; mark; marker; scale
balance; call; fit; name; say; state; term; weigh up
【化】 line width
在电子工程与半导体制造领域,"标称线宽"(英文:Nominal Line Width)是一个描述集成电路制造精度的关键参数,指代设计或规格书中指定的理论最小导线宽度或特征尺寸。其核心含义与应用如下:
设计基准值
标称线宽是芯片设计阶段设定的目标线宽值,代表了工艺节点的技术代际(如7nm、5nm节点)。它反映了理论上可实现的最小互连线或晶体管栅极宽度,是衡量集成电路集成度与性能的核心指标。
与实测值的区别
实际制造受光刻精度、蚀刻均匀性等影响,成品线宽存在公差。标称值作为理想参考,实际线宽需通过计量工具(如扫描电镜SEM)测量,通常标注为"Nominal ± Tolerance"(如100nm ± 5nm)。
半导体工艺节点(如"28nm工艺")的命名直接源自该代的标称线宽,体现了制程技术的先进程度。
更小的标称线宽可降低晶体管开关能耗,提升开关速度,但同时也加剧量子隧穿效应等物理挑战(参见IEEE国际器件与系统路线图IRDS报告)。
标称值直接决定掩模版图形的尺寸,是光刻工艺的基准输入(参考《半导体制造技术基础》第6章)。
实际线宽偏离标称值过大会导致电路失效,因此需统计分布以优化工艺窗口(Process Window)。
(注:因搜索结果未提供具体链接,此处保留标准文献与行业报告名称供读者检索。)
标称线宽是指设计或制造过程中规定的理论线路宽度值,通常不考虑实际工艺误差的影响。以下是详细解析:
基本定义
标称线宽(Nominal Line Width)是电路设计、PCB制造等领域中预先设定的理论线宽值。它代表理想状态下的线路宽度,用于指导生产流程和性能评估,但实际制造时可能因工艺波动产生偏差。
应用领域
与实际线宽的区别
标称线宽是理论值,而实际线宽受蚀刻精度、光刻工艺等因素影响,可能略大于或小于标称值。例如,PCB布线中若标称线宽过细,实际腐蚀后可能出现断线问题。
相关术语扩展
在CAD设计中,线宽是图形属性而非几何属性,仅用于控制打印效果,不会改变图形形状。这与工程领域的标称线宽在功能上有本质差异。
总结来看,标称线宽是工程设计与制造的关键参数,需结合工艺限制综合评估其合理性。实际应用中需参考行业标准(如IPC规范)调整标称值,以确保产品可靠性。
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