
【電】 nominal line width
mark; sign
【醫】 guide; mark; marker; scale
balance; call; fit; name; say; state; term; weigh up
【化】 line width
在電子工程與半導體制造領域,"标稱線寬"(英文:Nominal Line Width)是一個描述集成電路制造精度的關鍵參數,指代設計或規格書中指定的理論最小導線寬度或特征尺寸。其核心含義與應用如下:
設計基準值
标稱線寬是芯片設計階段設定的目标線寬值,代表了工藝節點的技術代際(如7nm、5nm節點)。它反映了理論上可實現的最小互連線或晶體管栅極寬度,是衡量集成電路集成度與性能的核心指标。
與實測值的區别
實際制造受光刻精度、蝕刻均勻性等影響,成品線寬存在公差。标稱值作為理想參考,實際線寬需通過計量工具(如掃描電鏡SEM)測量,通常标注為"Nominal ± Tolerance"(如100nm ± 5nm)。
半導體工藝節點(如"28nm工藝")的命名直接源自該代的标稱線寬,體現了制程技術的先進程度。
更小的标稱線寬可降低晶體管開關能耗,提升開關速度,但同時也加劇量子隧穿效應等物理挑戰(參見IEEE國際器件與系統路線圖IRDS報告)。
标稱值直接決定掩模版圖形的尺寸,是光刻工藝的基準輸入(參考《半導體制造技術基礎》第6章)。
實際線寬偏離标稱值過大會導緻電路失效,因此需統計分布以優化工藝窗口(Process Window)。
(注:因搜索結果未提供具體鍊接,此處保留标準文獻與行業報告名稱供讀者檢索。)
标稱線寬是指設計或制造過程中規定的理論線路寬度值,通常不考慮實際工藝誤差的影響。以下是詳細解析:
基本定義
标稱線寬(Nominal Line Width)是電路設計、PCB制造等領域中預先設定的理論線寬值。它代表理想狀态下的線路寬度,用于指導生産流程和性能評估,但實際制造時可能因工藝波動産生偏差。
應用領域
與實際線寬的區别
标稱線寬是理論值,而實際線寬受蝕刻精度、光刻工藝等因素影響,可能略大于或小于标稱值。例如,PCB布線中若标稱線寬過細,實際腐蝕後可能出現斷線問題。
相關術語擴展
在CAD設計中,線寬是圖形屬性而非幾何屬性,僅用于控制打印效果,不會改變圖形形狀。這與工程領域的标稱線寬在功能上有本質差異。
總結來看,标稱線寬是工程設計與制造的關鍵參數,需結合工藝限制綜合評估其合理性。實際應用中需參考行業标準(如IPC規範)調整标稱值,以确保産品可靠性。
【别人正在浏覽】