
【化】 diffusion (vacuum)pump oil
扩散真空泵油(Diffusion Pump Oil)是一种专用于扩散真空泵的高纯度工作流体,其核心功能是通过高温蒸发-冷凝循环实现气体分子的动量传递,从而在真空系统中产生并维持高真空环境。作为真空技术领域的关键介质,该油品需具备低蒸汽压、高热稳定性及化学惰性等特性。
从汉英词典角度解析,该术语可拆分为:
根据美国真空协会(AVS)技术报告,优质扩散泵油需满足以下指标: $$ begin{aligned} text{蒸汽压} &< 10^{-7} , text{Pa} quad (20^circtext{C}) text{热分解温度} &> 300^circtext{C} end{aligned} $$ 该数据来源于国家标准GB/T 3163-2018《真空泵油规范》。
在半导体制造和航天器模拟舱等工业场景中,扩散泵油的纯度直接影响系统极限真空度。麻省理工学院实验室研究显示,采用全氟聚醚(PFPE)型油品可使真空度提升至$10^{-8}$ Torr量级(《应用物理快报》第112卷)。
扩散真空泵油是专用于扩散泵(一种高真空设备)的工作液和润滑油,其核心功能是协助泵体实现高真空状态,同时具备润滑、冷却和密封作用。以下从定义、工作原理、性能要求及应用场景四方面详细解释:
扩散真空泵油属于真空泵油的一种,主要分为矿物油和合成油(如硅油)两类。与普通机械真空泵油不同,它不仅是润滑介质,更是扩散泵实现高真空的核心工作液。
扩散泵运行时,油被加热至沸腾形成高速蒸气射流,气体分子在分子流条件下扩散到蒸气流中,被蒸气携带至泵出口,经前级泵压缩排出。此过程依赖油蒸气的定向流动和低返流特性,从而维持高真空环境。
主要用于半导体制造、航空航天、科研实验室等需要高真空(通常低于10⁻⁶ Pa)的场景。例如光学镀膜设备、粒子加速器等。
扩散泵油的性能直接影响泵的极限真空度。若使用普通润滑油,其高蒸气压会导致返流污染真空系统。因此需根据设备要求选择专用油品,避免因油品不当导致真空度不足或设备损耗。
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