
【化】 diffusion (vacuum)pump oil
擴散真空泵油(Diffusion Pump Oil)是一種專用于擴散真空泵的高純度工作流體,其核心功能是通過高溫蒸發-冷凝循環實現氣體分子的動量傳遞,從而在真空系統中産生并維持高真空環境。作為真空技術領域的關鍵介質,該油品需具備低蒸汽壓、高熱穩定性及化學惰性等特性。
從漢英詞典角度解析,該術語可拆分為:
根據美國真空協會(AVS)技術報告,優質擴散泵油需滿足以下指标: $$ begin{aligned} text{蒸汽壓} &< 10^{-7} , text{Pa} quad (20^circtext{C}) text{熱分解溫度} &> 300^circtext{C} end{aligned} $$ 該數據來源于國家标準GB/T 3163-2018《真空泵油規範》。
在半導體制造和航天器模拟艙等工業場景中,擴散泵油的純度直接影響系統極限真空度。麻省理工學院實驗室研究顯示,采用全氟聚醚(PFPE)型油品可使真空度提升至$10^{-8}$ Torr量級(《應用物理快報》第112卷)。
擴散真空泵油是專用于擴散泵(一種高真空設備)的工作液和潤滑油,其核心功能是協助泵體實現高真空狀态,同時具備潤滑、冷卻和密封作用。以下從定義、工作原理、性能要求及應用場景四方面詳細解釋:
擴散真空泵油屬于真空泵油的一種,主要分為礦物油和合成油(如矽油)兩類。與普通機械真空泵油不同,它不僅是潤滑介質,更是擴散泵實現高真空的核心工作液。
擴散泵運行時,油被加熱至沸騰形成高速蒸氣射流,氣體分子在分子流條件下擴散到蒸氣流中,被蒸氣攜帶至泵出口,經前級泵壓縮排出。此過程依賴油蒸氣的定向流動和低返流特性,從而維持高真空環境。
主要用于半導體制造、航空航天、科研實驗室等需要高真空(通常低于10⁻⁶ Pa)的場景。例如光學鍍膜設備、粒子加速器等。
擴散泵油的性能直接影響泵的極限真空度。若使用普通潤滑油,其高蒸氣壓會導緻返流污染真空系統。因此需根據設備要求選擇專用油品,避免因油品不當導緻真空度不足或設備損耗。
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