
【化】 high vacuum valve
high; high-priced; lofty; loud; tall
【醫】 homo-; hyper-; hypsi-; hypso-; per-
【化】 vacuum valve
1. 術語定義與核心功能
高真空閥(High Vacuum Valve)是用于真空系統中控制氣體流動的關鍵裝置,工作壓力範圍通常為10⁻³ Pa 至 10⁻⁷ Pa(超高真空環境)。其核心功能包括:
主要類型包括擋闆閥(Flap Valve)、角閥(Angle Valve)和閘闆閥(Gate Valve),密封材料需具備低放氣率特性(如氟橡膠或不鏽鋼金屬密封)。
2. 技術特性與設計标準
3. 典型應用場景
權威案例參考中國科學院上海應用物理研究所的同步輻射裝置設計報告。
4. 權威定義參考來源
注:以上引用來源為行業權威文獻,實際鍊接需根據具體文獻數據庫(如知網、IEEE Xplore)定向檢索獲取。
高真空閥是真空閥的一種,主要應用于真空系統中壓力介于0.133~1.33×10⁻⁶Pa的絕對壓力環境()。以下是其詳細解釋:
根據真空度劃分,真空閥分為低真空閥、高真空閥和超高真空閥。高真空閥的工作壓力範圍屬于中間層級,適用于需要較高真空度的場景,如半導體制造、精密儀器實驗室等()。
高真空閥需符合行業規範,例如JB/T标準,涵蓋密封性測試、材料兼容性及耐壓性能等要求()。
相比标準真空閥,高真空閥更注重顆粒控制和化學穩定性,以滿足超高潔淨環境的需求()。
如需更詳細的技術參數或産品型號,可參考來源信息。
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