
【化】 high vacuum valve
high; high-priced; lofty; loud; tall
【医】 homo-; hyper-; hypsi-; hypso-; per-
【化】 vacuum valve
1. 术语定义与核心功能
高真空阀(High Vacuum Valve)是用于真空系统中控制气体流动的关键装置,工作压力范围通常为10⁻³ Pa 至 10⁻⁷ Pa(超高真空环境)。其核心功能包括:
主要类型包括挡板阀(Flap Valve)、角阀(Angle Valve)和闸板阀(Gate Valve),密封材料需具备低放气率特性(如氟橡胶或不锈钢金属密封)。
2. 技术特性与设计标准
3. 典型应用场景
权威案例参考中国科学院上海应用物理研究所的同步辐射装置设计报告。
4. 权威定义参考来源
注:以上引用来源为行业权威文献,实际链接需根据具体文献数据库(如知网、IEEE Xplore)定向检索获取。
高真空阀是真空阀的一种,主要应用于真空系统中压力介于0.133~1.33×10⁻⁶Pa的绝对压力环境()。以下是其详细解释:
根据真空度划分,真空阀分为低真空阀、高真空阀和超高真空阀。高真空阀的工作压力范围属于中间层级,适用于需要较高真空度的场景,如半导体制造、精密仪器实验室等()。
高真空阀需符合行业规范,例如JB/T标准,涵盖密封性测试、材料兼容性及耐压性能等要求()。
相比标准真空阀,高真空阀更注重颗粒控制和化学稳定性,以满足超高洁净环境的需求()。
如需更详细的技术参数或产品型号,可参考来源信息。
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