英語翻譯：

【化】 high frequency discharge

相關詞條：

1.radiofrequencydischarge  

分詞翻譯：

高頻的英語翻譯：

high frequency
【電】 hf; high frequency

放電的英語翻譯：

discharge
【化】 discharge
【醫】 discharge

專業解析

高頻放電（High-Frequency Discharge）指在頻率介于3MHz至30MHz的交流電場作用下，氣體介質中産生的非平衡态電離現象。其核心機制為電子在高頻交變電場中加速，通過碰撞中性粒子引發雪崩電離，同時因頻率高于離子遷移率，形成穩定的等離子體鞘層結構。

該現象在工程領域具有三大典型應用：

1. 工業處理：用于半導體刻蝕、薄膜沉積等等離子體工藝，例如《氣體放電與等離子體工程》（科學出版社）指出，高頻放電産生的低溫等離子體能精确控制材料表面改性；
2. 臭氧生成：根據IEEE Std 524-2003标準，高頻介質阻擋放電可将氧氣轉化為臭氧的效率提升至傳統方法的1.8倍；
3. 光譜分析：美國物理聯合會《應用物理評論》證實，高頻輝光放電可作為原子發射光譜儀的高穩定性激發源。

英國皇家工程院2019年技術報告強調，高頻放電參數優化需綜合考慮Paschen定律與頻率依存關系，其數學表達式為：

$$ V_b = frac{Bpd}{ln(Apd) - ln(ln(1+1/gamma))} $$

式中$V_b$為擊穿電壓，$p$為氣壓，$d$為極間距，A、B為氣體常數，γ為二次電子發射系數。

網絡擴展解釋

高頻放電是指在高頻交變電場作用下，電極間發生的一種放電現象，其核心特征在于電場頻率較高（通常在千赫茲至兆赫茲範圍），導緻電子運動特性與直流或低頻放電顯著不同。以下是詳細解釋：

1.基本定義

高頻放電發生在兩個電極之間的高頻交變電場中，屬于氣體放電的一種形式。其頻率遠高于普通交流電的50Hz，例如在真空設備中可能達到兆赫茲級别。

2.工作原理

• 電子與離子共振：當施加高頻電壓時，氣體中的電子和正離子在交變電場中産生共振。由于電子質量遠小于正離子，其共振幅度更大，電離能力顯著增強。
• 低氣壓適應性：高頻放電可在極低氣壓（如1.33×10⁻¹ Pa）下維持，因高頻電場能持續激發電子運動，減少對離子碰撞的依賴。
• 能量分布特征：電子在電場中形成圍繞軸線的渦旋運動，同時向管壁擴散，産生靜電場，形成同心環狀放電結構，不同半徑的電子能量差異可能導緻發光顔色變化。

3.主要特點

• 高效電離：電子高頻振蕩大幅提升電離效率，減少能量損耗。
• 低氣壓適用：相比直流放電，高頻放電在更低氣壓下仍能穩定運行。
• 節能優勢：通過增強電離能力降低設備功耗，節省使用成本。

4.典型應用

高頻放電技術廣泛應用于真空設備（如幹式真空泵）、等離子體生成、半導體制造等領域，也涉及醫療設備（如高頻電刀）和通信技術。

如需進一步了解具體參數或應用案例，可參考相關行業文獻或設備說明文檔。

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