英语翻译：

【化】 high frequency discharge

相关词条：

1.radiofrequencydischarge  

分词翻译：

高频的英语翻译：

high frequency
【电】 hf; high frequency

放电的英语翻译：

discharge
【化】 discharge
【医】 discharge

专业解析

高频放电（High-Frequency Discharge）指在频率介于3MHz至30MHz的交流电场作用下，气体介质中产生的非平衡态电离现象。其核心机制为电子在高频交变电场中加速，通过碰撞中性粒子引发雪崩电离，同时因频率高于离子迁移率，形成稳定的等离子体鞘层结构。

该现象在工程领域具有三大典型应用：

1. 工业处理：用于半导体刻蚀、薄膜沉积等等离子体工艺，例如《气体放电与等离子体工程》（科学出版社）指出，高频放电产生的低温等离子体能精确控制材料表面改性；
2. 臭氧生成：根据IEEE Std 524-2003标准，高频介质阻挡放电可将氧气转化为臭氧的效率提升至传统方法的1.8倍；
3. 光谱分析：美国物理联合会《应用物理评论》证实，高频辉光放电可作为原子发射光谱仪的高稳定性激发源。

英国皇家工程院2019年技术报告强调，高频放电参数优化需综合考虑Paschen定律与频率依存关系，其数学表达式为：

$$ V_b = frac{Bpd}{ln(Apd) - ln(ln(1+1/gamma))} $$

式中$V_b$为击穿电压，$p$为气压，$d$为极间距，A、B为气体常数，γ为二次电子发射系数。

网络扩展解释

高频放电是指在高频交变电场作用下，电极间发生的一种放电现象，其核心特征在于电场频率较高（通常在千赫兹至兆赫兹范围），导致电子运动特性与直流或低频放电显著不同。以下是详细解释：

1.基本定义

高频放电发生在两个电极之间的高频交变电场中，属于气体放电的一种形式。其频率远高于普通交流电的50Hz，例如在真空设备中可能达到兆赫兹级别。

2.工作原理

• 电子与离子共振：当施加高频电压时，气体中的电子和正离子在交变电场中产生共振。由于电子质量远小于正离子，其共振幅度更大，电离能力显著增强。
• 低气压适应性：高频放电可在极低气压（如1.33×10⁻¹ Pa）下维持，因高频电场能持续激发电子运动，减少对离子碰撞的依赖。
• 能量分布特征：电子在电场中形成围绕轴线的涡旋运动，同时向管壁扩散，产生静电场，形成同心环状放电结构，不同半径的电子能量差异可能导致发光颜色变化。

3.主要特点

• 高效电离：电子高频振荡大幅提升电离效率，减少能量损耗。
• 低气压适用：相比直流放电，高频放电在更低气压下仍能稳定运行。
• 节能优势：通过增强电离能力降低设备功耗，节省使用成本。

4.典型应用

高频放电技术广泛应用于真空设备（如干式真空泵）、等离子体生成、半导体制造等领域，也涉及医疗设备（如高频电刀）和通信技术。

如需进一步了解具体参数或应用案例，可参考相关行业文献或设备说明文档。

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