
【醫】 membrane manometer
film; membrane; pellicle
【計】 thin membrane; thin-film
【醫】 film
【醫】 manometer
薄膜測壓計(Thin Film Pressure Gauge)是一種基于薄膜變形原理測量壓力或壓差的精密傳感器。其核心結構是在剛性基底上沉積一層超薄的功能性薄膜(厚度通常在微米級),當薄膜受到壓力作用時會産生形變,通過測量形變引起的物理參數變化(如電阻、電容或頻率)來反推壓力值。
核心特點與技術原理:
薄膜測壓計代表了現代微傳感器技術在高精度、微型化壓力測量領域的重要發展方向,其性能持續提升得益于材料科學和微納加工技術的進步 。
薄膜測壓計(或稱薄膜式壓力傳感器)是一種通過薄膜形變來測量壓力的裝置,其核心原理基于材料的物理特性變化。以下為詳細解析:
1. 定義與組成 由柔性薄膜材料(如金屬或高分子聚合物)制成,通常包含壓力敏感元件和信號處理單元。薄膜在壓力作用下産生形變,通過電阻、電容或壓電效應将機械信號轉化為電信號。
2. 工作原理 •壓電型:利用石英等材料的壓電效應,受壓時産生電荷 •應變型:薄膜形變導緻表面電阻值變化(如惠斯通電橋原理) $$ Delta R/R = K cdot varepsilon $$ 其中K為靈敏系數,ε為應變值
3. 核心特點
4. 應用領域 •汽車工業:檢測座椅壓力分布、車門密封性、雨刮接觸壓力(碰撞測試中壓力分布分析) •醫療設備:呼吸機氣壓監測、血管内壓測量 •工業檢測:管道壓力監控、精密儀器校準
5. 技術延伸 最新發展包括柔性電子皮膚(用于機器人觸覺)和納米級薄膜傳感器(微創手術器械壓力反饋)。需注意校準周期一般為6-12個月,使用環境溫度需控制在-40℃~125℃範圍内。
更多技術參數可參考IEC 60747-14等傳感器标準文件。
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