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薄膜测压计英文解释翻译、薄膜测压计的近义词、反义词、例句

英语翻译:

【医】 membrane manometer

分词翻译:

薄膜的英语翻译:

film; membrane; pellicle
【计】 thin membrane; thin-film
【医】 film

测压计的英语翻译:

【医】 manometer

专业解析

薄膜测压计(Thin Film Pressure Gauge)是一种基于薄膜变形原理测量压力或压差的精密传感器。其核心结构是在刚性基底上沉积一层超薄的功能性薄膜(厚度通常在微米级),当薄膜受到压力作用时会产生形变,通过测量形变引起的物理参数变化(如电阻、电容或频率)来反推压力值。

核心特点与技术原理:

  1. 结构组成:主要由刚性基底(如硅片、陶瓷)、敏感薄膜(如氮化硅、多晶硅)和集成在薄膜上的传感元件(如压阻条、电容电极)构成。薄膜的厚度和力学特性直接影响传感器的灵敏度和量程。
  2. 工作原理:
    • 压阻式:薄膜受压变形,导致附着其上的半导体压敏电阻发生应变,电阻值随之变化(压阻效应)。通过惠斯通电桥电路测量电阻变化量即可换算为压力值 。
    • 电容式:薄膜作为一个可动电极,与下方的固定电极构成平行板电容器。压力使薄膜变形,改变两极板间距,从而引起电容值变化。测量电容变化即可得到压力 。
    • 谐振式:薄膜设计成谐振结构(如微梁)。压力引起的薄膜应力变化会改变其固有谐振频率,通过检测频率偏移量来测量压力。
  3. 技术优势:
    • 微型化与集成度高:得益于微机电系统(MEMS)技术,尺寸微小,易于集成在芯片或复杂系统中。
    • 灵敏度高、响应快:薄膜质量小,对压力变化响应迅速,适合动态压力测量。
    • 稳定性好:薄膜材料(如单晶硅、氮化硅)具有优异的机械性能和长期稳定性。
    • 适用于恶劣环境:可通过选择合适材料和封装方式适应高温、腐蚀性介质等环境。
  4. 主要应用领域:
    • 航空航天:发动机燃烧室压力、飞行器表面压力分布测量。
    • 生物医学:血管内压、颅内压、眼压等侵入式或微创生理参数监测。
    • 工业过程控制:微小气体或液体压力的精确测量与控制。
    • 汽车电子:发动机歧管压力、燃油压力、轮胎压力监测系统(TPMS)。
    • 微流体系统:芯片实验室(Lab-on-a-Chip)内部的压力监控。

薄膜测压计代表了现代微传感器技术在高精度、微型化压力测量领域的重要发展方向,其性能持续提升得益于材料科学和微纳加工技术的进步 。

网络扩展解释

薄膜测压计(或称薄膜式压力传感器)是一种通过薄膜形变来测量压力的装置,其核心原理基于材料的物理特性变化。以下为详细解析:

1. 定义与组成 由柔性薄膜材料(如金属或高分子聚合物)制成,通常包含压力敏感元件和信号处理单元。薄膜在压力作用下产生形变,通过电阻、电容或压电效应将机械信号转化为电信号。

2. 工作原理 •压电型:利用石英等材料的压电效应,受压时产生电荷 •应变型:薄膜形变导致表面电阻值变化(如惠斯通电桥原理) $$ Delta R/R = K cdot varepsilon $$ 其中K为灵敏系数,ε为应变值

3. 核心特点

4. 应用领域 •汽车工业:检测座椅压力分布、车门密封性、雨刮接触压力(碰撞测试中压力分布分析) •医疗设备:呼吸机气压监测、血管内压测量 •工业检测:管道压力监控、精密仪器校准

5. 技术延伸 最新发展包括柔性电子皮肤(用于机器人触觉)和纳米级薄膜传感器(微创手术器械压力反馈)。需注意校准周期一般为6-12个月,使用环境温度需控制在-40℃~125℃范围内。

更多技术参数可参考IEC 60747-14等传感器标准文件。

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