
【化】 ion beam analysis
【化】 ion beam; ion cluster; ionic cluster
analyze; construe; analysis; assay
【計】 parser
【化】 analysis; assaying
【醫】 analysis; anslyze
【經】 analyse
離子束分析(Ion Beam Analysis,簡稱IBA)是一種利用帶電粒子束與物質相互作用的物理現象,對材料成分、結構及表面特性進行非破壞性檢測的技術。該技術通過測量離子與靶材原子核或電子碰撞後産生的二次粒子(如背散射離子、特征X射線或核反應産物),實現元素定性與定量分析。
技術原理
離子束分析基于經典力學中的盧瑟福背散射原理(Rutherford Backscattering Spectrometry, RBS)與核反應分析(Nuclear Reaction Analysis, NRA)。其物理過程可通過公式描述:
$$ sigma(theta) = left( frac{Z_1 Z_2 e}{4E} right) frac{1}{sin(theta/2)} $$
其中$sigma$為散射截面,$Z_1$、$Z_2$分别為入射離子與靶材原子核電荷數,$E$為入射能量,$theta$為散射角。該公式量化了散射強度與材料元素的關系(來源:Springer《離子束分析手冊》)。
應用領域
離子束分析的空間分辨率可達納米級(<10 nm),檢測限低至ppm量級,優于傳統光譜分析法。美國國家标準與技術研究院(NIST)的比對實驗顯示,IBA對矽基材料中硼元素的檢測誤差率僅為0.3%(NIST技術文檔SP-960)。
主流設備包括:
國際标準化組織已發布ISO 21466:2021《離子束分析操作規程》(ISO官網技術标準庫)。
離子束分析(Ion Beam Analysis,IBA)是一種利用加速器産生的帶電粒子束轟擊材料,通過檢測相互作用産生的次級輻射來分析材料成分、結構及深度分布的技術。以下是其核心要點:
離子束分析基于帶電粒子(如質子、α粒子)與材料原子或原子核的相互作用。當高能離子束轟擊樣品時,會引發電離、激發、散射或核反應等過程,産生特征X射線、γ射線、反彈離子等次級輻射。通過測量這些輻射的能量和強度,可推斷樣品的元素種類、含量及分布。
如需進一步了解具體方法或案例,可參考(搜狗百科)和(離子源技術)等來源。
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