
【化】 vertical chamber oven
establish; exist; immediate; stand
ceremony; formula; model; pattern; ritual; style; type
【化】 expression
【醫】 F.; feature; formula; Ty.; type
furnace; kiln; stove
【醫】 furnace
立式爐(Vertical Furnace)是工業生産中常見的加熱設備,其核心特征為垂直方向的結構設計。該設備通過頂部或底部熱源産生溫度梯度,利用熱對流原理實現物料均勻受熱,主要應用于金屬熱處理、陶瓷燒結、半導體晶圓加工等領域。
從漢英詞典角度解析:
結構定義
立式爐的爐膛呈垂直圓柱形或矩形,物料通常通過懸挂或堆疊方式放置,與水平放置的箱式爐(Box Furnace)形成對比。美國材料與試驗協會(ASTM)将其歸類為"vertically oriented thermal processing equipment"(垂直方向熱加工設備)。
功能特性
采用PID控制系統實現±1℃的溫控精度,工作溫度範圍可達300-1800℃,具備真空、惰性氣體等多氣氛處理能力。中國國家标準GB/T 10067.1-2019指出,此類設備特别適用于需要避免物料變形的精密加工場景。
行業應用
在半導體制造中用于擴散、氧化等工藝(如晶圓垂直爐管系統),在航天領域用于複合材料固化。日本熱技術協會研究顯示,立式結構較傳統卧式爐可提升15%-20%的熱能利用率。
立式爐是一種以垂直結構為主要特征的加熱設備,廣泛應用于工業、實驗室及材料處理領域。以下是其詳細解釋:
立式爐的核心特征為垂直設計,通常由爐膛、加熱元件、密封爐殼、溫控系統等組成。例如,真空立式爐的爐殼由碳鋼或不鏽鋼焊接,采用真空密封技術,内部配備矽碳棒、矽钼棒等發熱元件。其真空度可達$133 times (10^{-2} sim 10^{-4})$ hPa,具有升溫快、能耗低、溫場均勻等特點。
按功能與用途
按行業應用
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