
【化】 vertical chamber oven
establish; exist; immediate; stand
ceremony; formula; model; pattern; ritual; style; type
【化】 expression
【医】 F.; feature; formula; Ty.; type
furnace; kiln; stove
【医】 furnace
立式炉(Vertical Furnace)是工业生产中常见的加热设备,其核心特征为垂直方向的结构设计。该设备通过顶部或底部热源产生温度梯度,利用热对流原理实现物料均匀受热,主要应用于金属热处理、陶瓷烧结、半导体晶圆加工等领域。
从汉英词典角度解析:
结构定义
立式炉的炉膛呈垂直圆柱形或矩形,物料通常通过悬挂或堆叠方式放置,与水平放置的箱式炉(Box Furnace)形成对比。美国材料与试验协会(ASTM)将其归类为"vertically oriented thermal processing equipment"(垂直方向热加工设备)。
功能特性
采用PID控制系统实现±1℃的温控精度,工作温度范围可达300-1800℃,具备真空、惰性气体等多气氛处理能力。中国国家标准GB/T 10067.1-2019指出,此类设备特别适用于需要避免物料变形的精密加工场景。
行业应用
在半导体制造中用于扩散、氧化等工艺(如晶圆垂直炉管系统),在航天领域用于复合材料固化。日本热技术协会研究显示,立式结构较传统卧式炉可提升15%-20%的热能利用率。
立式炉是一种以垂直结构为主要特征的加热设备,广泛应用于工业、实验室及材料处理领域。以下是其详细解释:
立式炉的核心特征为垂直设计,通常由炉膛、加热元件、密封炉壳、温控系统等组成。例如,真空立式炉的炉壳由碳钢或不锈钢焊接,采用真空密封技术,内部配备硅碳棒、硅钼棒等发热元件。其真空度可达$133 times (10^{-2} sim 10^{-4})$ hPa,具有升温快、能耗低、温场均匀等特点。
按功能与用途
按行业应用
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