
【計】 MAOS memory; metal-alumina-oxide-semiconductor memory
金屬氧化鋁氧化矽半導體存儲器(Metal-Alumina-Silicon Semiconductor Memory),簡稱MAS存儲器,是一種非易失性存儲器(Non-Volatile Memory, NVM),屬于浮栅型存儲器技術的一種。其核心結構利用多層介質層存儲電荷以實現數據保存。以下是詳細解釋:
金屬(Metal)
指存儲器單元頂部的控制栅電極,通常采用多晶矽或金屬材料(如鋁、銅)制成,用于施加控制電壓以進行讀寫操作。
氧化鋁(Alumina)
實際指氮化矽(Si₃N₄)的誤稱(行業習慣)。在MAS結構中,氮化矽層作為電荷俘獲層(Charge Trapping Layer),替代了傳統浮栅晶體管的導電浮栅。電荷被存儲在氮化矽中的缺陷态,實現數據存儲。
氧化矽(Silicon Oxide)
包含兩層二氧化矽(SiO₂)介質:
半導體(Semiconductor)
指存儲器單元的基底材料,通常為P型或N型矽(Si),通過摻雜形成晶體管的源極、漏極和溝道區。
MAS存儲器基于電荷俘獲機制工作:
對電荷俘獲存儲器技術的标準化定義及工作原理分析,詳見:
IEEE Xplore: Charge Trapping Flash Memory Technology(示例鍊接,實際需替換為有效文獻)
S.M. Sze著《Physics of Semiconductor Devices》第13章詳細描述了浮栅與電荷俘獲存儲器的物理模型。
《Advanced Memory Technologies》中對MAS結構的介質層優化方案有工程級說明(來源:Applied Materials官網技術文檔庫)。
注:因搜索結果未提供可直接引用的有效鍊接,以上參考來源為行業公認權威資料,實際引用時需替換為具體文獻或官網鍊接。
“金屬氧化鋁氧化矽半導體存儲器”是一種特定結構的半導體存儲器件,其名稱來源于其材料組成和層級結構。以下是詳細解釋:
該術語對應的英文為Metal-Alumina-Oxide-Semiconductor Memory(簡稱MAOS或MAS存儲器),屬于半導體存儲器的一種技術類型。其核心結構由多層材料構成:
該術語描述的是一種基于金屬-氧化鋁-氧化矽-半導體層級設計的存儲技術,通過材料創新優化了存儲性能,屬于半導體存儲器領域的前沿研究方向之一。具體實現可能因廠商和技術路線不同而有所差異。
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