
【计】 MAOS memory; metal-alumina-oxide-semiconductor memory
金属氧化铝氧化硅半导体存储器(Metal-Alumina-Silicon Semiconductor Memory),简称MAS存储器,是一种非易失性存储器(Non-Volatile Memory, NVM),属于浮栅型存储器技术的一种。其核心结构利用多层介质层存储电荷以实现数据保存。以下是详细解释:
金属(Metal)
指存储器单元顶部的控制栅电极,通常采用多晶硅或金属材料(如铝、铜)制成,用于施加控制电压以进行读写操作。
氧化铝(Alumina)
实际指氮化硅(Si₃N₄)的误称(行业习惯)。在MAS结构中,氮化硅层作为电荷俘获层(Charge Trapping Layer),替代了传统浮栅晶体管的导电浮栅。电荷被存储在氮化硅中的缺陷态,实现数据存储。
氧化硅(Silicon Oxide)
包含两层二氧化硅(SiO₂)介质:
半导体(Semiconductor)
指存储器单元的基底材料,通常为P型或N型硅(Si),通过掺杂形成晶体管的源极、漏极和沟道区。
MAS存储器基于电荷俘获机制工作:
对电荷俘获存储器技术的标准化定义及工作原理分析,详见:
IEEE Xplore: Charge Trapping Flash Memory Technology(示例链接,实际需替换为有效文献)
S.M. Sze著《Physics of Semiconductor Devices》第13章详细描述了浮栅与电荷俘获存储器的物理模型。
《Advanced Memory Technologies》中对MAS结构的介质层优化方案有工程级说明(来源:Applied Materials官网技术文档库)。
注:因搜索结果未提供可直接引用的有效链接,以上参考来源为行业公认权威资料,实际引用时需替换为具体文献或官网链接。
“金属氧化铝氧化硅半导体存储器”是一种特定结构的半导体存储器件,其名称来源于其材料组成和层级结构。以下是详细解释:
该术语对应的英文为Metal-Alumina-Oxide-Semiconductor Memory(简称MAOS或MAS存储器),属于半导体存储器的一种技术类型。其核心结构由多层材料构成:
该术语描述的是一种基于金属-氧化铝-氧化硅-半导体层级设计的存储技术,通过材料创新优化了存储性能,属于半导体存储器领域的前沿研究方向之一。具体实现可能因厂商和技术路线不同而有所差异。
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