
【計】 sapphire substrate
藍寶石襯底(Sapphire Substrate)的漢英詞典式詳解
1. 術語定義與核心特性
藍寶石襯底指由人工合成的單晶α-氧化鋁(α-Al₂O₃)制成的晶圓,其化學式為 text{Al}_2text{O}_3,莫氏硬度達9級,是僅次于金剛石的高硬度材料。在半導體領域,它作為外延生長的基底,通過異質外延技術沉積氮化镓(GaN)等薄膜,用于制造藍光/白光LED、激光二極管和射頻器件。其核心優勢包括高熱穩定性(熔點2050℃)、優異的絕緣性(電阻率>10^{14} Ω·cm)以及與GaN晶格的高度匹配性(失配率約13.8%)。
2. 材料結構與制備工藝
藍寶石晶體屬六方晶系,常見晶向為c面(0001)、a面(11-20)和r面(1-102)。主流制備采用泡生法(Kyropoulos method):将高純氧化鋁粉末在惰性氣氛中加熱至熔點以上,通過籽晶誘導緩慢結晶,經切割、研磨、抛光後形成納米級光滑表面(粗糙度<0.2nm),确保外延層低缺陷生長。
3. 電子工程應用場景
4. 技術演進與替代方案
盡管藍寶石襯底因成本低(約為SiC襯底的1/5)、技術成熟度高而廣泛應用,但存在熱導率偏低(25-35 W/m·K)的局限。當前研發方向包括:
權威參考來源
藍寶石襯底是LED芯片制造中的關鍵材料,以下是詳細解釋:
藍寶石襯底是以藍寶石(Al₂O₃晶體)為基材的半導體襯底,主要用于氮化镓(GaN)基LED的外延生長。其核心作用是作為晶體薄膜生長的載體,提供穩定的物理和化學環境。
除LED外,藍寶石襯底還用于激光器、射頻器件及光學窗口材料(如手機攝像頭保護玻璃)。
藍寶石襯底與天然藍寶石的區别在于生産工藝和用途,前者為人工合成,且無色透明(非天然藍色)。如需更全面的技術參數,可參考權威半導體材料文獻或行業标準(如、3、5)。
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