
【计】 sapphire substrate
蓝宝石衬底(Sapphire Substrate)的汉英词典式详解
1. 术语定义与核心特性
蓝宝石衬底指由人工合成的单晶α-氧化铝(α-Al₂O₃)制成的晶圆,其化学式为 text{Al}_2text{O}_3,莫氏硬度达9级,是仅次于金刚石的高硬度材料。在半导体领域,它作为外延生长的基底,通过异质外延技术沉积氮化镓(GaN)等薄膜,用于制造蓝光/白光LED、激光二极管和射频器件。其核心优势包括高热稳定性(熔点2050℃)、优异的绝缘性(电阻率>10^{14} Ω·cm)以及与GaN晶格的高度匹配性(失配率约13.8%)。
2. 材料结构与制备工艺
蓝宝石晶体属六方晶系,常见晶向为c面(0001)、a面(11-20)和r面(1-102)。主流制备采用泡生法(Kyropoulos method):将高纯氧化铝粉末在惰性气氛中加热至熔点以上,通过籽晶诱导缓慢结晶,经切割、研磨、抛光后形成纳米级光滑表面(粗糙度<0.2nm),确保外延层低缺陷生长。
3. 电子工程应用场景
4. 技术演进与替代方案
尽管蓝宝石衬底因成本低(约为SiC衬底的1/5)、技术成熟度高而广泛应用,但存在热导率偏低(25-35 W/m·K)的局限。当前研发方向包括:
权威参考来源
蓝宝石衬底是LED芯片制造中的关键材料,以下是详细解释:
蓝宝石衬底是以蓝宝石(Al₂O₃晶体)为基材的半导体衬底,主要用于氮化镓(GaN)基LED的外延生长。其核心作用是作为晶体薄膜生长的载体,提供稳定的物理和化学环境。
除LED外,蓝宝石衬底还用于激光器、射频器件及光学窗口材料(如手机摄像头保护玻璃)。
蓝宝石衬底与天然蓝宝石的区别在于生产工艺和用途,前者为人工合成,且无色透明(非天然蓝色)。如需更全面的技术参数,可参考权威半导体材料文献或行业标准(如、3、5)。
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