外延層英文解釋翻譯、外延層的近義詞、反義詞、例句
英語翻譯:
【計】 epitaxial layer
分詞翻譯:
外延的英語翻譯:
extension
【計】 epitaxy
層的英語翻譯:
layer; region; stage; story; stratum; tier
【計】 layer
【醫】 coat; lamella; lamellae; lamina; laminae; layer; strata; stratum
專業解析
在電子工程與半導體領域,"外延層"(Epitaxial Layer)指通過外延生長技術在單晶襯底上沉積的、具有特定晶格取向的單晶薄膜層。其核心特征是與襯底晶體結構高度匹配,确保低缺陷密度和優異的電學性能。
一、漢英定義解析
-
中文術語:外延層
- 定義:在單晶襯底上沿特定結晶方向生長的單晶薄膜層,用于優化半導體器件的電學特性。
- 技術原理:通過化學氣相沉積(CVD)或分子束外延(MBE)等方法,在襯底表面逐層原子級沉積,形成晶格匹配的新單晶層。
-
英文對應術語:Epitaxial Layer (Epi Layer)
- 定義:A crystalline layer grown on a substrate where the atomic arrangement is aligned with the substrate's crystal structure, critical for high-performance devices like MOSFETs and LEDs。
二、核心功能與技術價值
- 載流子調控:通過控制摻雜濃度(如P型/N型),調節導電性能(來源:IEEE Electron Device Letters)。
- 應力工程:利用晶格失配引入應變,提升載流子遷移率(例:SiGe外延層增強CMOS速度)。
- 隔離作用:在功率器件中,高阻外延層降低漏電流(參考:功率半導體器件設計手冊)。
三、典型應用場景
- 集成電路:矽外延層用于降低CMOS電路的闩鎖效應(Latch-up)。
- 光電器件:GaAs/AlGaAs外延層構成激光器的量子阱結構(來源:化合物半導體技術期刊)。
- 功率器件:SiC外延層支撐高壓、高溫器件開發(例:電動汽車逆變器模塊)。
權威參考文獻
- 半導體工藝基礎(清華大學出版社),第7章外延生長技術。
- IEEE标準術語庫:IEEE 100, The Authoritative Dictionary of IEEE Standards Terms。
- 應用物理評論:Epitaxial Growth for Emerging Materials (APL Materials, 2023)。
注:引用來源基于公開學術文獻及行業标準,具體鍊接需根據實際出版物DOI或權威機構官網獲取。
網絡擴展解釋
外延層是半導體制造中的核心概念,指在單晶襯底上通過外延生長技術形成的薄層單晶材料。以下是詳細解釋:
1.基本定義
外延層(Epitaxial Layer)是通過化學或物理方法在晶體襯底表面規則排列生長的單晶層,其晶體結構與襯底保持一緻。例如,在矽襯底上生長矽外延層時,新層會複制襯底的晶格方向,形成連續的晶體結構。
2.結構與特性
- 厚度:通常為微米級别,遠薄于襯底。
- 材料關系:若外延層與襯底材料相同(如矽/矽),稱為同質外延;若不同(如藍寶石襯底上生長氮化镓),則為異質外延。
- 摻雜控制:外延層可獨立控制雜質類型和濃度,與襯底摻雜無關,例如在矽外延中實現輕摻雜以優化電學性能。
3.作用與優勢
- 缺陷減少:外延層表面無抛光微缺陷,晶格完整性高,適合精密器件制造。
- 性能優化:通過調節摻雜,可降低寄生電容、提高擊穿電壓(如晶體管集電結)或降低導通電阻。
- 功能擴展:在異質外延中,可結合不同材料的特性(如藍寶石襯底+PSS處理),提升光參數或結合力。
4.應用場景
主要用于集成電路、光電子器件(如LED、激光二極管)等領域。例如,外延片通過襯底重摻雜和外延層輕摻雜的組合,實現高性能半導體器件。
參考資料
分類
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