外延层英文解释翻译、外延层的近义词、反义词、例句
英语翻译:
【计】 epitaxial layer
分词翻译:
外延的英语翻译:
extension
【计】 epitaxy
层的英语翻译:
layer; region; stage; story; stratum; tier
【计】 layer
【医】 coat; lamella; lamellae; lamina; laminae; layer; strata; stratum
专业解析
在电子工程与半导体领域,"外延层"(Epitaxial Layer)指通过外延生长技术在单晶衬底上沉积的、具有特定晶格取向的单晶薄膜层。其核心特征是与衬底晶体结构高度匹配,确保低缺陷密度和优异的电学性能。
一、汉英定义解析
-
中文术语:外延层
- 定义:在单晶衬底上沿特定结晶方向生长的单晶薄膜层,用于优化半导体器件的电学特性。
- 技术原理:通过化学气相沉积(CVD)或分子束外延(MBE)等方法,在衬底表面逐层原子级沉积,形成晶格匹配的新单晶层。
-
英文对应术语:Epitaxial Layer (Epi Layer)
- 定义:A crystalline layer grown on a substrate where the atomic arrangement is aligned with the substrate's crystal structure, critical for high-performance devices like MOSFETs and LEDs。
二、核心功能与技术价值
- 载流子调控:通过控制掺杂浓度(如P型/N型),调节导电性能(来源:IEEE Electron Device Letters)。
- 应力工程:利用晶格失配引入应变,提升载流子迁移率(例:SiGe外延层增强CMOS速度)。
- 隔离作用:在功率器件中,高阻外延层降低漏电流(参考:功率半导体器件设计手册)。
三、典型应用场景
- 集成电路:硅外延层用于降低CMOS电路的闩锁效应(Latch-up)。
- 光电器件:GaAs/AlGaAs外延层构成激光器的量子阱结构(来源:化合物半导体技术期刊)。
- 功率器件:SiC外延层支撑高压、高温器件开发(例:电动汽车逆变器模块)。
权威参考文献
- 半导体工艺基础(清华大学出版社),第7章外延生长技术。
- IEEE标准术语库:IEEE 100, The Authoritative Dictionary of IEEE Standards Terms。
- 应用物理评论:Epitaxial Growth for Emerging Materials (APL Materials, 2023)。
注:引用来源基于公开学术文献及行业标准,具体链接需根据实际出版物DOI或权威机构官网获取。
网络扩展解释
外延层是半导体制造中的核心概念,指在单晶衬底上通过外延生长技术形成的薄层单晶材料。以下是详细解释:
1.基本定义
外延层(Epitaxial Layer)是通过化学或物理方法在晶体衬底表面规则排列生长的单晶层,其晶体结构与衬底保持一致。例如,在硅衬底上生长硅外延层时,新层会复制衬底的晶格方向,形成连续的晶体结构。
2.结构与特性
- 厚度:通常为微米级别,远薄于衬底。
- 材料关系:若外延层与衬底材料相同(如硅/硅),称为同质外延;若不同(如蓝宝石衬底上生长氮化镓),则为异质外延。
- 掺杂控制:外延层可独立控制杂质类型和浓度,与衬底掺杂无关,例如在硅外延中实现轻掺杂以优化电学性能。
3.作用与优势
- 缺陷减少:外延层表面无抛光微缺陷,晶格完整性高,适合精密器件制造。
- 性能优化:通过调节掺杂,可降低寄生电容、提高击穿电压(如晶体管集电结)或降低导通电阻。
- 功能扩展:在异质外延中,可结合不同材料的特性(如蓝宝石衬底+PSS处理),提升光参数或结合力。
4.应用场景
主要用于集成电路、光电子器件(如LED、激光二极管)等领域。例如,外延片通过衬底重掺杂和外延层轻掺杂的组合,实现高性能半导体器件。
参考资料
分类
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