干式真空泵英文解释翻译、干式真空泵的近义词、反义词、例句

英语翻译：

【化】 dry vacuum pump

分词翻译：

干的英语翻译：

do; work; able; dry; empty; for nothing; main part; trunk; offend; strike
【医】 caudex; scapus; shaft; stem; truncus; trunk

式的英语翻译：

ceremony; formula; model; pattern; ritual; style; type
【化】 expression
【医】 F.; feature; formula; Ty.; type

真空泵的英语翻译：

【化】 pick-up pump; vacuum pump
【医】 vacuum pump

专业解析

干式真空泵（Dry Vacuum Pump）是一种在运行过程中无需使用油或其他工作液进行润滑、密封或冷却的真空获得设备。其核心特点在于工作腔与被抽气体之间完全无油接触，通过机械结构直接实现气体的压缩和排出。以下从专业角度分层解析其定义、原理及特性：

一、核心定义与工作原理

汉英术语对照
干式真空泵 / Dry Vacuum Pump（名词）

注："干式"强调无油工况（oil-free operation），"真空泵"对应vacuum pump，属机械真空泵大类。
工作原理
通过转子（如螺杆、爪式、涡旋等）在泵腔内周期性运动，实现气体的吸入、压缩和排出。因全程无液体参与，需特殊材料与精密设计保障高温下的密封性与耐磨性。例如：
- 螺杆式干泵：依靠两根非接触螺杆啮合，形成连续气体输送通道；
- 爪式干泵：利用多级爪形转子交替开闭腔体逐级增压。

二、关键特性与优势

无污染性
避免油蒸气返流污染被抽容器，满足半导体制造、光伏镀膜等洁净工艺需求（如ISO 21360标准对颗粒物控制要求）。

低维护成本
省去定期更换真空油、过滤器的成本，减少危废处理费用（符合RoHS/REACH环保指令）。

宽压力适应性
可在10 Pa至10^-2 Pa范围内稳定工作，部分型号可直排大气（如化学工业中的溶剂回收场景）。

三、典型应用领域

集成电路制造：用于光刻机、刻蚀机的洁净真空环境维持；
制药与食品工业：无菌冻干、蒸馏工艺中防止产品污染；
新能源领域：锂电电极材料干燥、光伏薄膜沉积；
科研仪器：同步辐射装置、质谱仪的抽气系统。

四、权威定义参考

中国通用机械工业协会（CGMA）定义：

"干式真空泵指泵腔内无任何工作液体，仅通过机械运动元件实现抽气功能的真空泵。"
（来源：《真空设备术语》GB/T 3163-2022）
美国真空学会（AVS）技术报告：

"Dry pumps eliminate oil contamination by using self-lubricating materials and geometric isolation of stages."
（来源：Journal of Vacuum Science & Technology A 39, 040801 (2021)）

五、技术演进方向

材料创新：碳纤维复合材料转子减轻惯性损耗；
智能控制：集成IoT传感器实时监测转子间隙温度（如ISO 22096状态监测标准）；
能效优化：变频驱动降低高真空段能耗（欧盟ERP指令能效等级要求）。

结语

干式真空泵作为高端制造的关键基础装备，其"无油化"技术持续推动精密工业的绿色升级。如需深入技术参数，可参考国际标准ISO 21360-3:2018《真空泵性能测量方法》。

网络扩展解释

干式真空泵是一种无油、无液体工作介质的机械真空泵，能够直接从大气压开始抽气，并将气体直接排入大气环境。以下是其详细解析：

一、定义与核心特点

无油无污染
干式真空泵的抽气流道内不使用任何油类、液体或密封介质。这一特性使其适用于洁净度要求高的领域，如半导体制造和医疗设备。
工作原理范围
工作压力范围覆盖大气压至10⁻²Pa，极限真空度接近传统油封式泵。

二、工作原理（分结构类型）

容积式泵（如螺杆、活塞型）
- 吸气阶段：通过活塞往复运动或螺杆旋转形成负压吸入气体。
- 压缩阶段：气体在泵腔内被机械压缩，分子间距减小。
- 排放阶段：压缩后的气体经排气口直接排出至大气。
动量传输式泵（如离心叶轮型）
- 叶轮高速旋转产生离心力，将气体从进口吸入并通过流道压缩后排出。

三、主要应用领域

半导体工业
用于高纯度真空环境，避免油污染影响芯片制造。
医疗与光学设备
在MRI、激光冷却系统中提供无油真空环境。
化学与制药
处理易挥发或有害物质时避免润滑剂污染。
表面处理工艺
如光学镀膜、真空热处理等需稳定真空的场合。

四、技术优势

维护成本低：无需处理废液或更换润滑油。
环境友好：避免油雾排放和液体废弃物污染。
高效耐用：机械结构简化，适合连续高强度作业。

五、分类依据

根据国际通用标准，可分为容积式（螺杆、活塞）和动量传输式（离心叶轮）两大类。