
【化】 dry vacuum pump
do; work; able; dry; empty; for nothing; main part; trunk; offend; strike
【醫】 caudex; scapus; shaft; stem; truncus; trunk
ceremony; formula; model; pattern; ritual; style; type
【化】 expression
【醫】 F.; feature; formula; Ty.; type
【化】 pick-up pump; vacuum pump
【醫】 vacuum pump
幹式真空泵(Dry Vacuum Pump)是一種在運行過程中無需使用油或其他工作液進行潤滑、密封或冷卻的真空獲得設備。其核心特點在于工作腔與被抽氣體之間完全無油接觸,通過機械結構直接實現氣體的壓縮和排出。以下從專業角度分層解析其定義、原理及特性:
漢英術語對照
幹式真空泵 / Dry Vacuum Pump(名詞)
注:"幹式"強調無油工況(oil-free operation),"真空泵"對應vacuum pump,屬機械真空泵大類。
工作原理
通過轉子(如螺杆、爪式、渦旋等)在泵腔内周期性運動,實現氣體的吸入、壓縮和排出。因全程無液體參與,需特殊材料與精密設計保障高溫下的密封性與耐磨性。例如:
避免油蒸氣返流污染被抽容器,滿足半導體制造、光伏鍍膜等潔淨工藝需求(如ISO 21360标準對顆粒物控制要求)。
省去定期更換真空油、過濾器的成本,減少危廢處理費用(符合RoHS/REACH環保指令)。
可在10 Pa至10^-2 Pa範圍内穩定工作,部分型號可直排大氣(如化學工業中的溶劑回收場景)。
"幹式真空泵指泵腔内無任何工作液體,僅通過機械運動元件實現抽氣功能的真空泵。"
(來源:《真空設備術語》GB/T 3163-2022)
"Dry pumps eliminate oil contamination by using self-lubricating materials and geometric isolation of stages."
(來源:Journal of Vacuum Science & Technology A 39, 040801 (2021))
結語
幹式真空泵作為高端制造的關鍵基礎裝備,其"無油化"技術持續推動精密工業的綠色升級。如需深入技術參數,可參考國際标準ISO 21360-3:2018《真空泵性能測量方法》。
幹式真空泵是一種無油、無液體工作介質的機械真空泵,能夠直接從大氣壓開始抽氣,并将氣體直接排入大氣環境。以下是其詳細解析:
無油無污染
幹式真空泵的抽氣流道内不使用任何油類、液體或密封介質。這一特性使其適用于潔淨度要求高的領域,如半導體制造和醫療設備。
工作原理範圍
工作壓力範圍覆蓋大氣壓至10⁻²Pa,極限真空度接近傳統油封式泵。
容積式泵(如螺杆、活塞型)
動量傳輸式泵(如離心葉輪型)
根據國際通用标準,可分為容積式(螺杆、活塞)和動量傳輸式(離心葉輪)兩大類。
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