
【电】 electronic profilomet
electron
【化】 electron
【医】 e.; electron
infer; measure; survey
face; surface; cover; directly; range; scale; side
【医】 face; facies; facio-; prosopo-; surface
idea; plan; calculate; count; meter; stratagem
【医】 meter
电子测面计(Electronic Surface Tester)是一种用于精确测量物体表面形貌、粗糙度及微观几何特征的电子仪器。其核心功能是通过高精度传感器采集表面数据,并借助数字信号处理技术生成三维形貌图或二维轮廓曲线。该设备广泛应用于机械制造、材料科学、汽车工业等领域,例如检测金属加工件的表面光洁度或光学镜面的平整度。
根据《机械工程手册》(第12卷)定义,电子测面计通常包含以下模块:1)金刚石探针传感器,分辨率可达纳米级;2)压电陶瓷驱动系统,实现微米级位移控制;3)数字信号处理器,支持FFT频谱分析和滤波功能。其测量参数符合ISO 4287标准,能够量化表面粗糙度参数Ra(算术平均偏差)和Rz(最大高度差)。
中国计量科学研究院的测试报告指出,现代电子测面计已集成激光干涉技术,测量精度可达±0.02μm,重复性误差小于1%。典型应用场景包括航空航天发动机叶片检测(GB/T 1031-2009)和半导体晶圆表面分析(SEMI MF1819-0704)。
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基本定义
“电子测面计”可能指一种电子化测量表面参数的仪器,用于检测物体表面的几何特性(如厚度、平面度、粗糙度等)或物理特性(如导电性、反射率)。其名称中的“测面”可能指“测量表面”或“测量某一侧面”。
可能的组成与原理
应用场景推测
与传统仪器的区别
相比机械式测厚仪或千分尺,电子测面计可能具备更高精度(微米级)、自动化操作和数据存储功能。
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