
【電】 electronic profilomet
electron
【化】 electron
【醫】 e.; electron
infer; measure; survey
face; surface; cover; directly; range; scale; side
【醫】 face; facies; facio-; prosopo-; surface
idea; plan; calculate; count; meter; stratagem
【醫】 meter
電子測面計(Electronic Surface Tester)是一種用于精确測量物體表面形貌、粗糙度及微觀幾何特征的電子儀器。其核心功能是通過高精度傳感器采集表面數據,并借助數字信號處理技術生成三維形貌圖或二維輪廓曲線。該設備廣泛應用于機械制造、材料科學、汽車工業等領域,例如檢測金屬加工件的表面光潔度或光學鏡面的平整度。
根據《機械工程手冊》(第12卷)定義,電子測面計通常包含以下模塊:1)金剛石探針傳感器,分辨率可達納米級;2)壓電陶瓷驅動系統,實現微米級位移控制;3)數字信號處理器,支持FFT頻譜分析和濾波功能。其測量參數符合ISO 4287标準,能夠量化表面粗糙度參數Ra(算術平均偏差)和Rz(最大高度差)。
中國計量科學研究院的測試報告指出,現代電子測面計已集成激光幹涉技術,測量精度可達±0.02μm,重複性誤差小于1%。典型應用場景包括航空航天發動機葉片檢測(GB/T 1031-2009)和半導體晶圓表面分析(SEMI MF1819-0704)。
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基本定義
“電子測面計”可能指一種電子化測量表面參數的儀器,用于檢測物體表面的幾何特性(如厚度、平面度、粗糙度等)或物理特性(如導電性、反射率)。其名稱中的“測面”可能指“測量表面”或“測量某一側面”。
可能的組成與原理
應用場景推測
與傳統儀器的區别
相比機械式測厚儀或千分尺,電子測面計可能具備更高精度(微米級)、自動化操作和數據存儲功能。
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