
【计】 process data matrix
course; procedure; process
【计】 PROC
【化】 process
【医】 course; process
【经】 process
data
【计】 D; data
【化】 data
【经】 data; datum; figure; quantitative data
matrix
【计】 matrix
【化】 matrix
【经】 matrices; matrix
过程数据矩阵(Process Data Matrix)是工业自动化和数据分析领域的核心概念,指通过矩阵形式系统化记录生产过程中多变量参数的时序数据集。其数学表达式通常为: $$ mathbf{X} = begin{bmatrix} x{11} & x{12} & cdots & x{1m} x{21} & x{22} & cdots & x{2m} vdots & vdots & ddots & vdots x{n1} & x{n2} & cdots & x_{nm} end{bmatrix} $$ 其中行向量对应不同采样时刻,列向量代表温度、压力、流量等过程变量。该矩阵在统计过程控制(SPC)中用于多元质量分析,通过主成分分析(PCA)等方法实现过程监控。
根据国际自动化学会(ISA)标准,过程数据矩阵需满足三个基本特征:① 时间序列完整性;② 多变量同步采集;③ 数据维度可扩展性。美国国家标准技术研究院(NIST)的《工业大数据处理指南》特别强调其在数字孪生技术中的基础作用,通过实时数据映射建立虚拟仿真模型。
在半导体制造领域,SEMI E125标准明确规定过程数据矩阵应包含晶圆加工参数、设备状态代码和环境监测数据三个维度,每个生产批次生成约10量级的数据点。这种结构化数据存储方式显著提升了故障诊断效率,相关应用案例可见《IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing》2023年刊载的良率优化研究。
过程/数据矩阵(U/C矩阵)是管理信息系统(MIS)开发中用于描述过程与数据类关系的重要工具。其核心功能是通过矩阵结构,明确系统中各业务过程对数据的使用(U)和创建(C)关系,从而辅助系统分析与设计。
结构定义
正确性检验
应用场景
假设一个销售系统包含“客户管理”和“订单处理”两个过程,数据类包括“客户信息”和“订单记录”。矩阵可能如下:
数据类过程 | 客户管理 | 订单处理 |
---|---|---|
客户信息 | C | U |
订单记录 | - | C |
此表表明:“客户管理”过程创建客户信息,“订单处理”使用客户信息并生成订单记录。
矩阵(Matrix)本身是数学中按矩形排列的数值集合,广泛应用于工程、统计等领域。而U/C矩阵是其在信息系统的具体应用形式,侧重于逻辑关系建模。
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