
【计】 stacked gate structure; stacked structure
fold; furl; pile up; repeat
【电】 overlay
bar
frame; structure; composition; configuration; construction; fabric; mechanism
【计】 frame work
【医】 constitution; formatio; formation; installation; structure; tcxture
叠栅结构 (Dié shān jiégòu | Stacked Gate Structure)
在半导体器件(尤其是现代MOSFET和3D NAND闪存)中,"叠栅结构"指一种通过垂直堆叠多个栅极层或导电层形成的复杂器件构型。其核心目的是在有限平面空间内提升器件密度与性能,突破传统单层器件的物理限制。
通过沉积、光刻和蚀刻工艺,在衬底上依次构建多个独立的栅极层(如多晶硅、金属栅)及绝缘层(如二氧化硅、高k介质)。例如,3D NAND闪存中可堆叠数十至数百层存储单元。
各层功能单元(如晶体管的栅极、浮栅、控制栅)沿垂直方向排列,形成三维阵列,显著缩小单元尺寸。
通过垂直堆叠规避平面工艺的微缩极限,单位面积内可容纳更多晶体管(如3D NAND的存储密度可达传统2D结构的百倍以上)。
多层栅极可独立调控载流子输运路径,降低串扰,提升开关速度与能效比。例如,FinFET中的叠栅设计可增强栅控能力,抑制短沟道效应。
支撑摩尔定律的持续发展,解决7nm以下制程的漏电与热耗散问题。
支持异质集成(如逻辑与存储单元堆叠),为存算一体等新兴架构提供硬件基础。
存储单元(浮栅/电荷陷阱层)与控制栅垂直堆叠,实现TB级存储容量。
纳米片/纳米线栅极环绕沟道多层堆叠,替代FinFET成为3nm以下节点主流技术。
对叠栅晶体管在亚5nm节点的可靠性挑战分析(来源:IEEE EDS)。
综述3D NAND叠栅工艺中的材料与界面工程(来源:Applied Physics Reviews)。
定义叠栅结构为后摩尔时代关键技术路径(来源:IEEE IRDS)。
注:因搜索结果未提供直接引用链接,以上来源机构为领域内权威平台,其公开文献可进一步验证技术细节。
叠栅结构是光伏电池领域的一种新型电极设计技术,通过简化传统栅线结构实现降本增效。以下是其核心要点:
注:该技术目前主要应用于TOPCon等高效电池,需结合具体工艺验证长期可靠性。更多技术细节可参考光伏领域权威期刊或专利文献。
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