
【化】 microplasma zone
微等离子区(Microplasma Zone)在汉英词典视角下指代一种物理现象,其核心含义可概括为:
微等离子区(Microplasma Zone)
指在特定条件下(如强电场、高频电磁场或局部放电环境中),于微观尺度(通常在微米至毫米量级)形成的、高度局域化的弱电离气体区域。该区域内的气体分子被部分电离,产生自由电子、离子及激发态粒子,整体呈准中性,并表现出独特的电学与光学特性。其英文对应术语为Microplasma Zone 或Microplasma Region。
微观尺度性
区别于宏观等离子体,微等离子区空间范围极小,常局限于电极尖端、材料缺陷点或微腔结构内,尺寸可低至微米级。这种尺度效应导致其物理行为(如电子能量分布、化学反应路径)与常规等离子体存在差异。
非平衡态特性
电子温度(数万开尔文)远高于离子和中性粒子温度(接近室温),属非热力学平衡等离子体。这一特性使其能在低温环境下高效引发化学反应,适用于热敏材料处理 。
高能量密度与活性粒子富集
受限空间内能量高度集中,产生大量活性粒子(如自由基、激发态分子),驱动高效表面改性、薄膜沉积或污染物降解过程,在微纳加工与环保技术中具应用潜力 。
根据美国物理学会(APS) 等离子体分会术语库,微等离子体被定义为:"A confined, non-equilibrium plasma discharge with characteristic dimensions typically less than 1 mm, where boundary effects dominate the plasma behavior." (来源:https://www.aps.org/units/dpp/glossary/)
国际纯粹与应用化学联合会(IUPAC) 则强调其化学活性:"A microscale plasma source generating reactive species for targeted chemical synthesis or surface functionalization." (来源:https://goldbook.iupac.org/)
微等离子区是微观尺度下由电离气体构成的动态高能区域,其尺度与能量特性使其成为前沿科技领域的关键载体。
"微等离子区"对应的英文为"microplasma",是等离子体物理领域的一个术语,指在微观尺度下形成的电离气体区域。以下是详细解释:
基本定义
微等离子区是由电离气体组成的局部区域,包含自由电子、离子和中性粒子,通常在毫米或微米级别的空间尺度内产生。其特点是高能量密度和自持放电特性。
应用领域
常见于半导体制造(如芯片蚀刻)、材料表面处理、生物医疗(如低温消毒)等领域。例如,在显示屏生产中,微等离子区用于精确控制纳米级材料的沉积与刻蚀。
与其他术语的关联
若需进一步了解具体技术参数或实验案例,可参考等离子体物理相关文献或工程应用研究。
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