
【化】 microplasma zone
微等離子區(Microplasma Zone)在漢英詞典視角下指代一種物理現象,其核心含義可概括為:
微等離子區(Microplasma Zone)
指在特定條件下(如強電場、高頻電磁場或局部放電環境中),于微觀尺度(通常在微米至毫米量級)形成的、高度局域化的弱電離氣體區域。該區域内的氣體分子被部分電離,産生自由電子、離子及激發态粒子,整體呈準中性,并表現出獨特的電學與光學特性。其英文對應術語為Microplasma Zone 或Microplasma Region。
微觀尺度性
區别于宏觀等離子體,微等離子區空間範圍極小,常局限于電極尖端、材料缺陷點或微腔結構内,尺寸可低至微米級。這種尺度效應導緻其物理行為(如電子能量分布、化學反應路徑)與常規等離子體存在差異。
非平衡态特性
電子溫度(數萬開爾文)遠高于離子和中性粒子溫度(接近室溫),屬非熱力學平衡等離子體。這一特性使其能在低溫環境下高效引發化學反應,適用于熱敏材料處理 。
高能量密度與活性粒子富集
受限空間内能量高度集中,産生大量活性粒子(如自由基、激發态分子),驅動高效表面改性、薄膜沉積或污染物降解過程,在微納加工與環保技術中具應用潛力 。
根據美國物理學會(APS) 等離子體分會術語庫,微等離子體被定義為:"A confined, non-equilibrium plasma discharge with characteristic dimensions typically less than 1 mm, where boundary effects dominate the plasma behavior." (來源:https://www.aps.org/units/dpp/glossary/)
國際純粹與應用化學聯合會(IUPAC) 則強調其化學活性:"A microscale plasma source generating reactive species for targeted chemical synthesis or surface functionalization." (來源:https://goldbook.iupac.org/)
微等離子區是微觀尺度下由電離氣體構成的動态高能區域,其尺度與能量特性使其成為前沿科技領域的關鍵載體。
"微等離子區"對應的英文為"microplasma",是等離子體物理領域的一個術語,指在微觀尺度下形成的電離氣體區域。以下是詳細解釋:
基本定義
微等離子區是由電離氣體組成的局部區域,包含自由電子、離子和中性粒子,通常在毫米或微米級别的空間尺度内産生。其特點是高能量密度和自持放電特性。
應用領域
常見于半導體制造(如芯片蝕刻)、材料表面處理、生物醫療(如低溫消毒)等領域。例如,在顯示屏生産中,微等離子區用于精确控制納米級材料的沉積與刻蝕。
與其他術語的關聯
若需進一步了解具體技術參數或實驗案例,可參考等離子體物理相關文獻或工程應用研究。
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