
【機】 metallization
apply; be sufficient for; spread
【醫】 apply; compress
metal
【化】 metal
【醫】 metal
【經】 metal
dharma; divisor; follow; law; standard
【醫】 method
【經】 law
敷金屬法(fū jīnshǔ fǎ)在漢英詞典中通常對應英文術語Metallization,指在非金屬基材表面沉積或覆蓋一層金屬薄膜的工藝技術。該技術廣泛應用于微電子、半導體封裝、光學器件及材料表面改性等領域。
基本概念
敷金屬法通過物理或化學手段(如濺射、電鍍、化學氣相沉積等),在陶瓷、塑料、玻璃等基體表面形成導電或功能性金屬層(如銅、鋁、金)。其核心目的是賦予基材導電性、導熱性、電磁屏蔽性或增強機械性能 。
關鍵技術分類
微電子制造
在集成電路中,敷金屬法形成互連線(Interconnects),連接晶體管單元。鋁(Al)和銅(Cu)是主流金屬材料,其中銅因電阻率更低而逐步替代鋁 。
封裝技術
陶瓷封裝基闆通過濺射钛/鉑/金(Ti/Pt/Au)多層金屬化,實現芯片粘接與信號引出,确保高可靠性和熱穩定性 。
功能化表面工程
在聚合物表面敷金屬層(如鎳、銀),可制備柔性電路、電磁屏蔽罩或裝飾性塗層 。
金屬材料 | 電阻率 (μΩ·cm) | 適用工藝 | 主要應用領域 |
---|---|---|---|
鋁 (Al) | 2.65 | PVD濺射 | 集成電路互連線 |
銅 (Cu) | 1.68 | 電鍍/Damascene工藝 | 先進制程芯片 |
金 (Au) | 2.44 | 電鍍/化學鍍 | 高頻器件、鍵合焊盤 |
《半導體器件金屬化系統測試方法》(JEDEC JESD33B)規範了薄膜附着力、電阻率等關鍵指标 。
Harper, C. A. 電子封裝與互連手冊(McGraw-Hill)詳細論述了陶瓷基闆金屬化工藝 。
International Journal of Advanced Manufacturing Technology 多篇研究對比PVD與CVD在納米金屬化中的優劣 。
注:因搜索結果未提供具體網頁鍊接,參考文獻僅标注來源出版物名稱,符合原則的權威内容需結合實際可驗證的學術/行業資料。
“敷金屬法”是一種在材料表面覆蓋金屬層的技術,其核心含義和應用可歸納如下:
“敷金屬法”對應英文術語“metallization”,指通過化學或物理方法在物體表面形成金屬塗層的工藝。其中“敷”字在漢語中表示“鋪開、塗覆”(如敷藥、敷設),強調将金屬以特定方式附着于基材表面。
化學沉積法
如提到的無電子化學沉積鎳(electroless chemical deposition),通過化學反應在二氧化钛粉末表面形成金屬層,無需外部電流。
化學氣相沉積(CVD)
指出,半導體工業中采用CVD技術,通過含金屬蒸汽與加熱基體反應,在矽片表面沉積高純度銅膜,用于微處理器電互連通道。
如需進一步了解具體工藝參數或行業标準,可參考材料科學或半導體制造領域的專業文獻。
插翅難飛打撈監督人定額産量定量貼現多次分級甘露糖醇六乙酸酯磺胺苯環孔錐兼性的家庭成員基本狀态寄存器疥基幹金屬鏡絕對程式可重定位程式控訴的冷卻圈爐用鑄件淺白色的齊平式電路繞轉軟甲視黃素使生效說教術的碳的碳酰吡咯特殊政策銅狀的