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敷金屬法英文解釋翻譯、敷金屬法的近義詞、反義詞、例句

英語翻譯:

【機】 metallization

分詞翻譯:

敷的英語翻譯:

apply; be sufficient for; spread
【醫】 apply; compress

金屬的英語翻譯:

metal
【化】 metal
【醫】 metal
【經】 metal

法的英語翻譯:

dharma; divisor; follow; law; standard
【醫】 method
【經】 law

專業解析

敷金屬法(fū jīnshǔ fǎ)在漢英詞典中通常對應英文術語Metallization,指在非金屬基材表面沉積或覆蓋一層金屬薄膜的工藝技術。該技術廣泛應用于微電子、半導體封裝、光學器件及材料表面改性等領域。

一、核心定義與工藝原理

  1. 基本概念

    敷金屬法通過物理或化學手段(如濺射、電鍍、化學氣相沉積等),在陶瓷、塑料、玻璃等基體表面形成導電或功能性金屬層(如銅、鋁、金)。其核心目的是賦予基材導電性、導熱性、電磁屏蔽性或增強機械性能 。

  2. 關鍵技術分類

    • 物理氣相沉積(PVD):通過真空蒸發或濺射使金屬原子沉積于基材,適用于高純度薄膜制備(如半導體晶圓鋁布線)。
    • 化學氣相沉積(CVD):利用氣相化學反應生成金屬薄膜,常用于鎢、钼等難熔金屬沉積 。
    • 電化學沉積:通過電解液中的金屬離子還原實現鍍層(如PCB銅箔電鍍)。

二、典型應用場景

  1. 微電子制造

    在集成電路中,敷金屬法形成互連線(Interconnects),連接晶體管單元。鋁(Al)和銅(Cu)是主流金屬材料,其中銅因電阻率更低而逐步替代鋁 。

  2. 封裝技術

    陶瓷封裝基闆通過濺射钛/鉑/金(Ti/Pt/Au)多層金屬化,實現芯片粘接與信號引出,确保高可靠性和熱穩定性 。

  3. 功能化表面工程

    在聚合物表面敷金屬層(如鎳、銀),可制備柔性電路、電磁屏蔽罩或裝飾性塗層 。

三、材料選擇與性能要求

金屬材料 電阻率 (μΩ·cm) 適用工藝 主要應用領域
鋁 (Al) 2.65 PVD濺射 集成電路互連線
銅 (Cu) 1.68 電鍍/Damascene工藝 先進制程芯片
金 (Au) 2.44 電鍍/化學鍍 高頻器件、鍵合焊盤

四、權威參考文獻

  1. 行業标準

    《半導體器件金屬化系統測試方法》(JEDEC JESD33B)規範了薄膜附着力、電阻率等關鍵指标 。

  2. 學術研究

    Harper, C. A. 電子封裝與互連手冊(McGraw-Hill)詳細論述了陶瓷基闆金屬化工藝 。

  3. 技術綜述

    International Journal of Advanced Manufacturing Technology 多篇研究對比PVD與CVD在納米金屬化中的優劣 。

注:因搜索結果未提供具體網頁鍊接,參考文獻僅标注來源出版物名稱,符合原則的權威内容需結合實際可驗證的學術/行業資料。

網絡擴展解釋

“敷金屬法”是一種在材料表面覆蓋金屬層的技術,其核心含義和應用可歸納如下:

一、基本定義

“敷金屬法”對應英文術語“metallization”,指通過化學或物理方法在物體表面形成金屬塗層的工藝。其中“敷”字在漢語中表示“鋪開、塗覆”(如敷藥、敷設),強調将金屬以特定方式附着于基材表面。

二、技術實現方式

  1. 化學沉積法
    如提到的無電子化學沉積鎳(electroless chemical deposition),通過化學反應在二氧化钛粉末表面形成金屬層,無需外部電流。

  2. 化學氣相沉積(CVD)
    指出,半導體工業中采用CVD技術,通過含金屬蒸汽與加熱基體反應,在矽片表面沉積高純度銅膜,用于微處理器電互連通道。

三、應用領域

四、相關術語

如需進一步了解具體工藝參數或行業标準,可參考材料科學或半導體制造領域的專業文獻。

分類

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