
【机】 metallization
apply; be sufficient for; spread
【医】 apply; compress
metal
【化】 metal
【医】 metal
【经】 metal
dharma; divisor; follow; law; standard
【医】 method
【经】 law
敷金属法(fū jīnshǔ fǎ)在汉英词典中通常对应英文术语Metallization,指在非金属基材表面沉积或覆盖一层金属薄膜的工艺技术。该技术广泛应用于微电子、半导体封装、光学器件及材料表面改性等领域。
基本概念
敷金属法通过物理或化学手段(如溅射、电镀、化学气相沉积等),在陶瓷、塑料、玻璃等基体表面形成导电或功能性金属层(如铜、铝、金)。其核心目的是赋予基材导电性、导热性、电磁屏蔽性或增强机械性能 。
关键技术分类
微电子制造
在集成电路中,敷金属法形成互连线(Interconnects),连接晶体管单元。铝(Al)和铜(Cu)是主流金属材料,其中铜因电阻率更低而逐步替代铝 。
封装技术
陶瓷封装基板通过溅射钛/铂/金(Ti/Pt/Au)多层金属化,实现芯片粘接与信号引出,确保高可靠性和热稳定性 。
功能化表面工程
在聚合物表面敷金属层(如镍、银),可制备柔性电路、电磁屏蔽罩或装饰性涂层 。
金属材料 | 电阻率 (μΩ·cm) | 适用工艺 | 主要应用领域 |
---|---|---|---|
铝 (Al) | 2.65 | PVD溅射 | 集成电路互连线 |
铜 (Cu) | 1.68 | 电镀/Damascene工艺 | 先进制程芯片 |
金 (Au) | 2.44 | 电镀/化学镀 | 高频器件、键合焊盘 |
《半导体器件金属化系统测试方法》(JEDEC JESD33B)规范了薄膜附着力、电阻率等关键指标 。
Harper, C. A. 电子封装与互连手册(McGraw-Hill)详细论述了陶瓷基板金属化工艺 。
International Journal of Advanced Manufacturing Technology 多篇研究对比PVD与CVD在纳米金属化中的优劣 。
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“敷金属法”是一种在材料表面覆盖金属层的技术,其核心含义和应用可归纳如下:
“敷金属法”对应英文术语“metallization”,指通过化学或物理方法在物体表面形成金属涂层的工艺。其中“敷”字在汉语中表示“铺开、涂覆”(如敷药、敷设),强调将金属以特定方式附着于基材表面。
化学沉积法
如提到的无电子化学沉积镍(electroless chemical deposition),通过化学反应在二氧化钛粉末表面形成金属层,无需外部电流。
化学气相沉积(CVD)
指出,半导体工业中采用CVD技术,通过含金属蒸汽与加热基体反应,在硅片表面沉积高纯度铜膜,用于微处理器电互连通道。
如需进一步了解具体工艺参数或行业标准,可参考材料科学或半导体制造领域的专业文献。
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