
【化】 ultrahigh vacuum seal
exceed; go beyond; overtake
【計】 hyperactive
【醫】 per-; ultra-
【化】 high vacuum seal
超高真空密封(Ultra-High Vacuum Seal)指在壓力低于 (10^{-7}) Pa(帕斯卡)的極端真空環境下,實現氣體零洩漏的密封技術。其核心目标是維持系統内極低的氣體分子密度,以滿足精密實驗(如粒子加速器、表面分析)或半導體制造等場景的需求。以下是漢英對照解析與技術要點:
超高真空 (Ultra-High Vacuum, UHV)
定義:壓力範圍在 (10^{-7}) Pa 至 (10^{-12}) Pa 的真空狀态,氣體分子平均自由程可達數公裡,需消除材料放氣與微洩漏。
英譯:Ultra-High Vacuum 強調超越高真空(High Vacuum)的極限低壓環境。
密封 (Sealing)
定義:通過物理結構(如法蘭、墊圈)阻斷氣體滲透路徑。UHV 密封需滿足:
英譯:Sealing 在UHV語境下特指 Hermetic Sealing(氣密密封)。
材料選擇
結構設計
UHV 密封需滿足 ASTM E595 材料放氣測試标準,總質量損失(TML)<1% 。
定義真空分級,明确UHV為第5級(< (10^{-7}) Pa),密封系統洩漏率檢測需用氦質譜儀 。
注:具體技術參數需參考 真空工程手冊(Handbook of Vacuum Technology) 或美國國家标準技術研究院(NIST) 發布的真空密封協議。
超高真空密封是指在高真空(通常為$10^{-3}$~$10^{-6}$ Pa)和超高真空($10^{-6}$~$10^{-11}$ Pa)環境中,通過特定技術手段防止氣體洩漏的密封方法。以下是其核心要點:
密封材料選擇
密封膠補充
有機矽樹脂密封膠(如普斯特Vacseal)用于臨時補漏,耐溫範圍-200℃~400℃,適用于洩漏率小于$5.2 times 10^{-3}$ atm·cc/s的微小孔洞。
耐高溫性
在真空環境中,金屬密封可承受450℃高溫,而氟橡膠密封件需在120℃以下使用。
低氣透性
丁腈橡膠因丙烯腈極性基團對非極性氣體(如空氣)滲透性低,氣透性順序為天然橡膠>丁苯膠>丁腈膠>氯丁膠>丁基膠。
結構設計
超高真空密封通過金屬材料的高穩定性和精密結構設計,實現極低漏率與耐極端環境性能,是尖端科技領域的關鍵技術。如需完整技術參數,可參考(真空密封材料分析)和(超高真空密封原理)。
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