
【化】 ultrahigh vacuum seal
exceed; go beyond; overtake
【计】 hyperactive
【医】 per-; ultra-
【化】 high vacuum seal
超高真空密封(Ultra-High Vacuum Seal)指在压力低于 (10^{-7}) Pa(帕斯卡)的极端真空环境下,实现气体零泄漏的密封技术。其核心目标是维持系统内极低的气体分子密度,以满足精密实验(如粒子加速器、表面分析)或半导体制造等场景的需求。以下是汉英对照解析与技术要点:
超高真空 (Ultra-High Vacuum, UHV)
定义:压力范围在 (10^{-7}) Pa 至 (10^{-12}) Pa 的真空状态,气体分子平均自由程可达数公里,需消除材料放气与微泄漏。
英译:Ultra-High Vacuum 强调超越高真空(High Vacuum)的极限低压环境。
密封 (Sealing)
定义:通过物理结构(如法兰、垫圈)阻断气体渗透路径。UHV 密封需满足:
英译:Sealing 在UHV语境下特指 Hermetic Sealing(气密密封)。
材料选择
结构设计
UHV 密封需满足 ASTM E595 材料放气测试标准,总质量损失(TML)<1% 。
定义真空分级,明确UHV为第5级(< (10^{-7}) Pa),密封系统泄漏率检测需用氦质谱仪 。
注:具体技术参数需参考 真空工程手册(Handbook of Vacuum Technology) 或美国国家标准技术研究院(NIST) 发布的真空密封协议。
超高真空密封是指在高真空(通常为$10^{-3}$~$10^{-6}$ Pa)和超高真空($10^{-6}$~$10^{-11}$ Pa)环境中,通过特定技术手段防止气体泄漏的密封方法。以下是其核心要点:
密封材料选择
密封胶补充
有机硅树脂密封胶(如普斯特Vacseal)用于临时补漏,耐温范围-200℃~400℃,适用于泄漏率小于$5.2 times 10^{-3}$ atm·cc/s的微小孔洞。
耐高温性
在真空环境中,金属密封可承受450℃高温,而氟橡胶密封件需在120℃以下使用。
低气透性
丁腈橡胶因丙烯腈极性基团对非极性气体(如空气)渗透性低,气透性顺序为天然橡胶>丁苯胶>丁腈胶>氯丁胶>丁基胶。
结构设计
超高真空密封通过金属材料的高稳定性和精密结构设计,实现极低漏率与耐极端环境性能,是尖端科技领域的关键技术。如需完整技术参数,可参考(真空密封材料分析)和(超高真空密封原理)。
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