能量分散X射線分析英文解釋翻譯、能量分散X射線分析的近義詞、反義詞、例句
英語翻譯:
【化】 energy-dispersive X-ray analysis(EDX)
分詞翻譯:
能量的英語翻譯:
energy
【化】 energy
【醫】 capacity
【經】 capacity; energy
分散的英語翻譯:
disperse; distract from; scatter; deconcentration; dispersal; dissipation
【計】 disassembling; disperse
【化】 break-up; dispersion
【醫】 disgregation; dispersion; divergence; fraction
【經】 diversification
射線的英語翻譯:
radial; ray
【醫】 radiation; ray
分析的英語翻譯:
analyze; construe; analysis; assay
【計】 parser
【化】 analysis; assaying
【醫】 analysis; anslyze
【經】 analyse
專業解析
能量分散X射線分析(Energy Dispersive X-ray Analysis,簡稱EDX或EDS)是一種基于X射線能譜學的材料表征技術,主要用于檢測樣品中元素的種類及其相對含量。其核心原理是通過高能電子束轟擊樣品表面,激發樣品原子内層電子産生特征X射線。不同元素釋放的X射線能量具有唯一性,探測器通過測量這些X射線的能量分布實現元素定性與定量分析。
該技術名稱包含三個關鍵維度:
- 能量分散:指利用半導體探測器(如矽漂移探測器)将不同能量的X射線信號按能量高低分離并記錄,形成能譜圖。
- X射線分析:通過解析特征X射線的能量峰位置(對應元素種類)和峰強度(對應元素濃度),結合數據庫比對完成元素鑒定。美國國家标準與技術研究院(NIST)的X射線熒光數據庫為此提供了标準化參考依據。
- 空間分辨率:現代EDX系統在掃描電子顯微鏡(SEM)中可實現納米級微區分析,例如牛津儀器公司發布的Ultim Max系列探測器可檢測低至1%重量百分比的痕量元素。
該技術廣泛應用于材料科學、地質學、生物醫學等領域,尤其在失效分析、合金成分檢測、異物溯源等場景中具有不可替代性。根據《分析化學學報》2024年收錄的研究案例,EDX與聚焦離子束(FIB)聯用技術已成功實現半導體器件中10納米級缺陷的成分解析。
網絡擴展解釋
能量分散X射線分析(Energy-dispersive X-ray analysis,簡稱EDX或EDS)是一種用于材料成分分析的檢測技術,其核心原理是通過檢測樣品受激發後産生的特征X射線能量,确定元素的種類和含量。以下是詳細解釋:
1.基本原理
當高能電子束(如掃描電子顯微鏡中的電子束)轟擊樣品時,樣品内層電子被激發,外層電子躍遷填補空位時會釋放特征X射線。EDX通過能量分散型探測器記錄這些X射線的能量強度,每種元素對應特定能量峰值,從而實現元素定性和定量分析。
2.技術特點
- 非破壞性:分析過程對樣品損傷極小,適用于微區分析。
- 快速高效:可同時檢測多種元素,分析時間短(提到其“高靈敏度和快速分析”特點)。
- 適用性廣:可檢測原子序數≥5(硼)的元素,檢測限通常為0.1%~1%(質量分數)。
3.應用場景
- 電子顯微鏡聯用:常搭載于掃描電鏡(SEM)或透射電鏡(TEM/STEM),用于材料表面或微區成分分析。
- 工業與科研:廣泛應用于金屬、半導體、地質、生物等領域,例如失效分析、鍍層成分檢測等。
4.與其他技術的對比
- 與WDX區别:EDX通過能量分散分光,而波長分散X射線光譜(WDX)通過波長分光。EDX分析速度更快,但分辨率略低;WDX需更大電子束量,較少用于微區分析。
- 與XRF對比:EDX通常結合電子束激發,而能量色散X射線熒光(EDXRF)使用X射線源,適用于塊狀樣品無損檢測(參考部分原理)。
如需進一步了解具體設備或實驗方法,可查閱相關文獻或儀器手冊。
分類
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